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龍圖騰網(wǎng)恭喜中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所申請(qǐng)的專利RF MOS器件的在片測試結(jié)構(gòu)的去嵌方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113655360B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-01發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202110913198.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01R31/26；該發(fā)明授權(quán)RF MOS器件的在片測試結(jié)構(gòu)的去嵌方法是由陳靜;謝甜甜;王青;呂迎歡;葛浩設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-08-10向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本RF MOS器件的在片測試結(jié)構(gòu)的去嵌方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供了一種RFMOS器件的在片測試結(jié)構(gòu)的去嵌方法，包括如下步驟：在同一襯底上同時(shí)形成待測器件，以及相對(duì)應(yīng)的引腳結(jié)構(gòu)、開路結(jié)構(gòu)、短路結(jié)構(gòu)以及直通結(jié)構(gòu)；分別對(duì)上述待測器件、引腳結(jié)構(gòu)、開路結(jié)構(gòu)、短路結(jié)構(gòu)、直通結(jié)構(gòu)進(jìn)行S參數(shù)測試；利用電磁仿真模型仿真一個(gè)金屬條阻抗，算出實(shí)際短路結(jié)構(gòu)引入的阻抗；利用所獲得的實(shí)際短路結(jié)構(gòu)引入的阻抗，將S參數(shù)轉(zhuǎn)換為Y參數(shù)。本發(fā)明通過對(duì)一個(gè)金屬條進(jìn)行電磁仿真其阻抗來模擬實(shí)際用于去嵌的短路結(jié)構(gòu)中用于共地互連的那部分金屬塊的阻抗，并在去嵌過程中將該阻抗去除，從而在更高頻率的時(shí)候也能獲得更好的去嵌精度。

本發(fā)明授權(quán)RF MOS器件的在片測試結(jié)構(gòu)的去嵌方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種RFMOS器件的在片測試結(jié)構(gòu)的去嵌方法，其特征在于，包括如下步驟：在同一襯底上同時(shí)形成待測器件，以及相對(duì)應(yīng)的引腳結(jié)構(gòu)、開路結(jié)構(gòu)、短路結(jié)構(gòu)以及直通結(jié)構(gòu)；分別對(duì)上述待測器件、引腳結(jié)構(gòu)、開路結(jié)構(gòu)、短路結(jié)構(gòu)、直通結(jié)構(gòu)進(jìn)行S參數(shù)測試，得到S參數(shù)；利用電磁仿真模型仿真一個(gè)金屬條阻抗，該金屬條用于模擬所述短路結(jié)構(gòu)中用于共地互連的金屬阻抗，得到該金屬條的Z參數(shù)以及長度為L的金屬條的阻抗值ZL，算出實(shí)際短路結(jié)構(gòu)引入的阻抗Zs＝L1L*ZL；利用所獲得的實(shí)際短路結(jié)構(gòu)引入的阻抗Zs，將S參數(shù)轉(zhuǎn)換為Y參數(shù),待測器件的Y參數(shù)Ymea、引腳結(jié)構(gòu)的Y參數(shù)Ypad、以及短路結(jié)構(gòu)的Y參數(shù)Yshort；Smea轉(zhuǎn)換為Ymea，Spad轉(zhuǎn)換為Ypad，Sshort轉(zhuǎn)換為Yshort； 其中 具體去嵌計(jì)算過程：Z”＝[Yshort-Ypad]-1-Z’；Ydut＝[Ymea-Ypad-1-Z”]-1-[Yopen-Ypad-1-Z”]-1其中待測器件的S參數(shù)是Smea、引腳結(jié)構(gòu)的S參數(shù)是Spad、開路結(jié)構(gòu)的S參數(shù)是Sopen、短路結(jié)構(gòu)的S參數(shù)是Sshort、以及直通結(jié)構(gòu)的S參數(shù)是Sthru，待測器件的Y參數(shù)是Ymea、引腳結(jié)構(gòu)的Y參數(shù)是Ypad、以及短路結(jié)構(gòu)的Y參數(shù)是Yshort。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所，其通訊地址為：200050 上海市長寧區(qū)長寧路865號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。