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龍圖騰網(wǎng)恭喜恩智浦美國有限公司申請的專利具有嵌入跡線的基板獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN110797266B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-21發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：201910711120.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/48；該發(fā)明授權(quán)具有嵌入跡線的基板是由T·尤林;奇·森格·富恩格設(shè)計研發(fā)完成，并于2019-08-02向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本具有嵌入跡線的基板在說明書摘要公布了：本公開涉及具有嵌入跡線的基板。本文中提供一種具有一或多個嵌入跡線的基板和一種用于制造一或多個嵌入跡線的方法的實施例。所述方法包括：在基板的第一主表面上形成凸塊，所述凸塊具有從所述第一主表面到所述凸塊的頂部表面測量的高度；形成跡線，所述跡線包括與所述第一主表面直接接觸的下部跡線部分、與所述凸塊的至少一個側(cè)壁直接接觸的側(cè)壁跡線部分和與所述凸塊的所述頂部表面直接接觸的上部跡線部分；在所述跡線上方沉積毯狀介電層；和蝕刻掉所述毯狀介電層的頂部部分以暴露所述上部跡線部分的頂部表面。

本發(fā)明授權(quán)具有嵌入跡線的基板在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于制造一或多個嵌入跡線的方法，其特征在于，所述方法包括：在基板的第一主表面上形成凸塊，所述凸塊具有從所述第一主表面到所述凸塊的頂部表面測量的高度；形成跡線，所述跡線包括：與所述第一主表面直接接觸的下部跡線部分，與所述凸塊的至少一個側(cè)壁直接接觸的側(cè)壁跡線部分，和與所述凸塊的所述頂部表面直接接觸的上部跡線部分；在所述跡線上方沉積毯狀介電層；和蝕刻掉所述毯狀介電層的頂部部分以暴露所述上部跡線部分的頂部表面。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人恩智浦美國有限公司，其通訊地址為：美國得克薩斯；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。