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龍圖騰網(wǎng)恭喜維耶爾公司申請的專利用于微裝置檢驗的探針結(jié)構(gòu)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN113454467B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-21發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202080014665.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01R1/073；該發(fā)明授權(quán)用于微裝置檢驗的探針結(jié)構(gòu)是由戈爾拉瑪瑞扎·恰吉;樸昌鎬設(shè)計研發(fā)完成，并于2020-02-20向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本用于微裝置檢驗的探針結(jié)構(gòu)在說明書摘要公布了：一種探針卡組合件包括：襯底；一或多個探針單元，其與所述襯底接觸，每一探針單元包括：電極，其經(jīng)集成于所述襯底上；橋接器，其經(jīng)形成于所述電極之上以包括力傳感器；探針，其具有經(jīng)連接到所述橋接器的探針尖端，所述探針經(jīng)偏置以允許測量經(jīng)安置于晶片上的微裝置的至少一個屬性。所述探針卡中的探針陣列用于通過以下各者來測試微裝置：使所述陣列與襯底上的對應(yīng)微裝置對準(zhǔn)；將所述探針卡移動到所述微裝置；使至少一個探針偏置以允許測量所述微裝置的至少一個屬性；監(jiān)測至少一個屬性的改變；及通過所述微裝置的至少一個屬性的所述改變來檢測到所述微裝置的連接。

本發(fā)明授權(quán)用于微裝置檢驗的探針結(jié)構(gòu)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種探針卡組合件，其包括：襯底；一或多個探針單元，其與所述襯底接觸，其中每一探針單元包括：力傳感器或電極，其經(jīng)集成于所述襯底上；橋接器，其經(jīng)形成于所述力傳感器或電極上方；及探針，其經(jīng)形成于所述橋接器上且具有經(jīng)連接到所述橋接器的探針尖端，其中所述探針經(jīng)偏置以允許測量經(jīng)安置于晶片上的微裝置的至少一個屬性。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人維耶爾公司，其通訊地址為：加拿大安大略；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。