恭喜深圳市辰中科技有限公司陳衛軍獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜深圳市辰中科技有限公司申請的專利一種氣體分配系統獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN222651086U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202323571994.6,技術領域涉及:F17D1/04;該實用新型一種氣體分配系統是由陳衛軍;歐陽增圖;劉巖軍設計研發完成,并于2023-12-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種氣體分配系統在說明書摘要公布了:本實用新型公開了一種氣體分配系統,至少包括:第一輸入管,與第一氣源連通;第二輸入管,與第二氣源連通;接收腔,設置在所述第一輸入管和所述第二輸入管之間,且所述接收腔遠離所述第一氣源和所述第二氣源;第一多通閥,設置在所述第一氣源和所述接收腔之間的所述第一輸入管上;第二多通閥,設置在所述第二氣源和所述接收腔之間的所述第二輸入管上;第一循環管路,設置在所述第一多通閥和所述第一氣源之間;第二循環管路,設置在所述第二多通閥和所述第二氣源之間;尾氣處理單元,與所述第一多通閥和所述第二多通閥連接。通過本實用新型提供的分配系統,能夠快速進行工藝氣體的切換,減少工藝氣體切換之間的時間間隔。
本實用新型一種氣體分配系統在權利要求書中公布了:1.一種氣體分配系統,其特征在于,至少包括:第一輸入管,與第一氣源連通;第二輸入管,與第二氣源連通;接收腔,設置在所述第一輸入管和所述第二輸入管之間,且所述接收腔遠離所述第一氣源和所述第二氣源;第一多通閥,設置在所述第一氣源和所述接收腔之間的所述第一輸入管上;第二多通閥,設置在所述第二氣源和所述接收腔之間的所述第二輸入管上;第一循環管路,設置在所述第一多通閥和所述第一氣源之間;第二循環管路,設置在所述第二多通閥和所述第二氣源之間;以及尾氣處理單元,與所述第一多通閥和所述第二多通閥連接。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人深圳市辰中科技有限公司,其通訊地址為:518000 廣東省深圳市福田區香蜜湖街道竹林社區金眾街2號益華綜合樓A、B棟A棟八層北03#;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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