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龍圖騰網(wǎng)獲悉應(yīng)用材料公司申請(qǐng)的專(zhuān)利氣體遞送系統(tǒng)和方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114846595B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-07-04發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202080088501.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)氣體遞送系統(tǒng)和方法是由D·凱德拉亞;阮芳;黃祖濱;G·巴拉蘇布拉馬尼恩;K·阿拉亞瓦里;M·西蒙斯;K·李;R·納拉亞南;K·嘉納基拉曼設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-11-11向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本氣體遞送系統(tǒng)和方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：一種系統(tǒng)可以包括：主線路，用于遞送第一氣體；以及傳感器，用于測(cè)量被遞送通過(guò)主線路的第一氣體中的前驅(qū)物的濃度。系統(tǒng)可以進(jìn)一步包括：第一子線路和第二子線路，分別用于提供通往第一處理腔室和第二處理腔室的流體通路。第一子線路可以包括：第一流量控制器，用于控制流動(dòng)通過(guò)第一子線路的第一氣體。第二子線路可以包括：第二流量控制器，用于控制流動(dòng)通過(guò)第二子線路的第一氣體。可以將遞送控制器配置為基于前驅(qū)物的測(cè)量到的濃度來(lái)控制第一流量控制器和第二流量控制器，以將第一氣體與第二氣體的第一混合物和第一氣體與第二氣體的第二混合物分別遞送到第一半導(dǎo)體處理腔室和第二半導(dǎo)體處理腔室中。

本發(fā)明授權(quán)氣體遞送系統(tǒng)和方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種方法，包括以下步驟： 使包括前驅(qū)物和稀釋氣體的第一氣體流動(dòng)通過(guò)第一遞送主線路，其中所述第一遞送主線路與所述第一遞送主線路的下游的第一遞送子線路和第二遞送子線路流體耦接，所述第一遞送子線路被配置為提供從所述第一遞送主線路到第一半導(dǎo)體處理腔室的流體通路，所述第二遞送子線路被配置為提供從所述第一遞送主線路到第二半導(dǎo)體處理腔室的流體通路； 使所述第二氣體流動(dòng)通過(guò)第二遞送主線路，其中所述第二遞送主線路與所述第二遞送主線路的下游的第三遞送子線路和第四遞送子線路流體耦接，所述第三遞送子線路被配置為提供從所述第二遞送主線路到所述第一半導(dǎo)體處理腔室的流體通路，所述第四遞送子線路被配置為提供從所述第二遞送主線路到所述第二半導(dǎo)體處理腔室的流體通路； 測(cè)量被遞送通過(guò)所述第一遞送主線路的所述第一氣體中所含有的所述前驅(qū)物的濃度； 至少部分地基于所述前驅(qū)物的測(cè)量到的所述濃度來(lái)調(diào)整被遞送通過(guò)所述第一遞送子線路的所述第一氣體的第一流速； 至少部分地基于所述前驅(qū)物的測(cè)量到的所述濃度來(lái)調(diào)整被遞送通過(guò)所述第二遞送子線路的所述第一氣體的第二流速； 根據(jù)第一配方設(shè)定點(diǎn)向所述第一半導(dǎo)體處理腔室遞送被遞送通過(guò)所述第一遞送子線路的所述第一氣體與包括所述稀釋氣體的第二氣體的第一混合物；以及 根據(jù)第二配方設(shè)定點(diǎn)向所述第二半導(dǎo)體處理腔室遞送被遞送通過(guò)所述第二遞送子線路的所述第一氣體與所述第二氣體的第二混合物，其中同時(shí)分別向所述第一半導(dǎo)體處理腔室和所述第二半導(dǎo)體處理腔室遞送所述第一混合物和所述第二混合物， 其中： 遞送被遞送通過(guò)所述第一遞送子線路的所述第一氣體與所述第二氣體的所述第一混合物包括以下步驟：遞送被遞送通過(guò)所述第一遞送子線路的所述第一氣體與被遞送通過(guò)所述第三遞送子線路的所述第二氣體的所述第一混合物；以及 遞送被遞送通過(guò)所述第二遞送子線路的所述第一氣體與所述第二氣體的所述第二混合物包括以下步驟：遞送被遞送通過(guò)所述第二遞送子線路的所述第一氣體與被遞送通過(guò)所述第四遞送子線路的所述第二氣體的所述第二混合物。

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