恭喜亞德諾半導體國際無限責任公司E·J·考尼獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜亞德諾半導體國際無限責任公司申請的專利高壓DMOS晶體管獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN112993038B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-07-04發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202011460085.3,技術領域涉及:H10D30/65;該發明授權高壓DMOS晶體管是由E·J·考尼;A·布蘭尼克;J·P·瑪史凱爾設計研發完成,并于2020-12-11向國家知識產權局提交的專利申請。
本高壓DMOS晶體管在說明書摘要公布了:提供橫向n溝道LDMOS晶體管的改進結構以避免在晶體管工作期間發生的柵極?氧化物破裂。LDMOS晶體管包括電介質隔離結構,該電介質隔離結構將包括寄生NPN晶體管的區域與由于弱影響電離而產生空穴電流的區域即LDMOS晶體管的擴展漏極區域物理隔離。根據本公開的實施方案,這可以使用兩個區域之間的垂直溝槽來實現。還提出進一步的實施方案以使得減小寄生NPN晶體管的增益和減小背柵電阻,以便進一步提高LDMOS晶體管的魯棒性。
本發明授權高壓DMOS晶體管在權利要求書中公布了:1.一種LDMOS晶體管,包括: n阱中的n摻雜漏極; 柵極; p阱中的n摻雜源極;和 包括n阱中的第一p摻雜背柵區和p阱中的第二p摻雜背柵區的p摻雜背柵; 其中所述LDMOS晶體管還包括填充有氧化物的溝槽隔離結構,所述隔離結構被配置為將包括包含所述LDMOS晶體管的漏極的n阱的第一區域與包括包含所述LDMOS晶體管的源極的p阱的第二區域物理隔離,所述第二區域在使用中具有寄生雙極結型晶體管, 其中LDMOS晶體管的n阱中的第一p摻雜背柵區電耦合到LDMOS晶體管的p阱中的第二p摻雜背柵區,以及 其中LDMOS晶體管的n阱中的第一n摻雜區電耦合到LDMOS晶體管的p阱中的第二n摻雜區,柵極形成在第二n摻雜區和n摻雜源極之間的p阱上,其中第二n摻雜區、p阱和n摻雜源極構成所述寄生雙極結型晶體管, 其中所述第一區域還包括第一p型外延層,所述n阱形成在所述第一p型外延層上, 其中所述第二區域還包括第二p型外延層,所述p阱形成在所述第二p型外延層上,并且其中所述第二p型外延層比所述第一p型外延層厚。
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