買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)恭喜杭州廣立測試設(shè)備有限公司申請(qǐng)的專利晶圓的電容測試方法、裝置、電子設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119916090B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-07-04發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510406579.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01R27/26；該發(fā)明授權(quán)晶圓的電容測試方法、裝置、電子設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)是由陳巍;李成霞;毛渲;陳曉銳設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-04-02向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本晶圓的電容測試方法、裝置、電子設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供了一種晶圓的電容測試方法、裝置、電子設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)，包括：在進(jìn)行空針電容測試前，讀取待測對(duì)象的測試信息；基于測試信息中的共性信息生成判斷變量；基于判斷變量確定是否存在對(duì)應(yīng)的空針電容值；如果不存在，則根據(jù)測試信息對(duì)待測對(duì)象進(jìn)行空針測試，并將測試得到的空針電容值與判斷變量進(jìn)行關(guān)聯(lián)；如果存在，則自動(dòng)獲取存在的空針電容值。該方式中，通過將測試對(duì)象和測試參數(shù)這些測試信息作為共性信息，基于全局變量的判斷來確定是否存在空針電容，可不重復(fù)測試空針電容，提升產(chǎn)能，提高生產(chǎn)效率；同時(shí)大幅度降低抬針扎針次數(shù)，提高針卡壽命，降低成本。

本發(fā)明授權(quán)晶圓的電容測試方法、裝置、電子設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓的電容測試方法，其特征在于，所述方法包括： 在進(jìn)行空針電容測試前，讀取待測對(duì)象的測試信息；基于所述測試信息中的共性信息生成判斷變量；所述共性信息表征相對(duì)于同一個(gè)參考維度代表相同的測試位置和測試條件； 基于所述判斷變量確定是否存在對(duì)應(yīng)的空針電容值；如果不存在，則根據(jù)測試信息對(duì)待測對(duì)象進(jìn)行空針測試，并將測試得到的空針電容值與判斷變量進(jìn)行關(guān)聯(lián)；如果存在，則自動(dòng)獲取存在的空針電容值； 所述測試信息包括測試對(duì)象信息和測試參數(shù)，所述基于所述測試信息中的共性信息生成判斷變量，包括：獲取用戶選擇的測試模式，根據(jù)所述測試模式確定所述共性信息所需的數(shù)據(jù)維度；根據(jù)所述共性信息所需的數(shù)據(jù)維度選擇所需的測試對(duì)象信息，與測試參數(shù)中的共性信息共同組成判斷變量；其中，所述數(shù)據(jù)維度對(duì)應(yīng)設(shè)置有批次維度、晶圓維度、裸片維度； 所述基于判斷變量確定是否存在對(duì)應(yīng)的空針電容值，包括：設(shè)定判斷變量為key，設(shè)定返回指令$獲取到變量輸出定量，返回指令$獲取到定量輸出為空；基于判斷變量，獲取$$key的全局變量；當(dāng)$$key為空值時(shí)，則全局變量為目標(biāo)數(shù)值；當(dāng)$$key為定量時(shí)，則全局變量為變量$key的數(shù)值；基于所述全局變量的數(shù)值確定是否測試空針電容；當(dāng)測試空針電容時(shí)，則將$key設(shè)置為數(shù)值等于當(dāng)前測試得到的空針電容值的變量；其中，$key為與測試信息相關(guān)的字符串； 所述目標(biāo)數(shù)值大于預(yù)設(shè)的閾值；所述基于所述全局變量的數(shù)值確定是否測試空針電容，包括：如果所述全局變量的數(shù)值大于所述閾值，確定測試空針電容；如果所述全局變量的數(shù)值小于或等于所述閾值，確定不測試空針電容。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人杭州廣立測試設(shè)備有限公司，其通訊地址為：310012 浙江省杭州市西湖區(qū)西斗門路3號(hào)天堂軟件園A幢1樓1106室；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。