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龍圖騰網恭喜中國科學技術大學申請的專利一種用于氦離子顯微鏡成像質量校正的樣品及其制作方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112858363B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-17發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110247163.X，技術領域涉及：G01N23/2255；該發明授權一種用于氦離子顯微鏡成像質量校正的樣品及其制作方法是由溫曉鐳設計研發完成，并于2021-03-05向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種用于氦離子顯微鏡成像質量校正的樣品及其制作方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種用于氦離子顯微鏡成像質量校正的樣品及其制作方法，所述樣品包括襯底、導電層和聚苯乙烯微球顆粒，襯底上覆蓋導電層，聚苯乙烯微球顆粒分散固定在導電層上；或者包括塊體導電材料和聚苯乙烯微球顆粒，聚苯乙烯微球顆粒分散固定在塊體導電材料上。由于氦離子在聚苯乙烯材料中穿透能力強，平均穿透深度超過微球尺寸，故聚苯乙烯微球顆粒在氦離子照射下不易發生融化、變形等損傷，并且其邊界清晰的球形幾何形狀可靈敏反映出離子束聚焦問題，有利于離子束聚焦成像質量的校正。同時提供了一種用于氦離子顯微鏡離子束聚焦成像質量校正的樣品的制作方法，該方法步驟簡單，工藝要求低，適用于大批量生產。

本發明授權一種用于氦離子顯微鏡成像質量校正的樣品及其制作方法在權利要求書中公布了：1.一種用于氦離子顯微鏡成像質量校正的樣品，其特征在于，包括襯底、導電層和聚苯乙烯微球顆粒，襯底上覆蓋導電層，聚苯乙烯微球顆粒分散固定在導電層上；或者包括塊體導電材料和聚苯乙烯微球顆粒，聚苯乙烯微球顆粒分散固定在塊體導電材料上；其中導電層或塊體導電材料能夠轉移離子入射帶來的正電荷，避免電荷積累影響成像信號的收集；由于氦離子在聚苯乙烯材料中穿透能力強，平均穿透深度超過微球尺寸，故聚苯乙烯微球顆粒在氦離子照射下不易發生融化、變形損傷，并且其邊界清晰的球形幾何形狀可靈敏反映出離子束聚焦問題；有利于離子束聚焦成像質量的校正； 所述襯底和導電層之間還設置有粘附層，所述粘附層材料為鈦、鉻或鎳，厚度為1~20nm；所述導電層厚度為95nm~1mm； 所述襯底為硅片、石英片、不銹鋼片、銅片、鋁片、鋁合金片、鉬片或鎢片； 所述導電層或塊體導電材料材質為銀、鉑、銅、鋁、鉻、鈦、碳、鎢、鉬、不銹鋼和鐵中的一種或幾種； 所述聚苯乙烯微球顆粒直徑為10nm~95nm； 制作所述用于氦離子顯微鏡成像質量校正的樣品的方法包括以下步驟： 1）在表面清潔平整的襯底上鍍導電層，或將塊體導電材料表面研磨平整并清洗干凈； 2）在導電層或者塊體導電材料上分散固定聚苯乙烯微球顆粒;所述分散固定聚苯乙烯微球顆粒的方法為在導電層或者塊體導電材料表面滴涂、旋涂或采用提拉法涂覆含有聚苯乙烯微球顆粒的混懸液； 所述步驟1）中，還包括在表面清潔平整的襯底上鍍導電層之前，對襯底進行清洗步驟，清洗步驟為將襯底浸入丙酮溶液中超聲清洗5-10min，接著浸入異丙醇溶液中超聲清洗5-10min，取出后用氮氣吹干，得到表面清潔平整的襯底。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國科學技術大學，其通訊地址為：230026 安徽省合肥市包河區金寨路96號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。