買(mǎi)專(zhuān)利賣(mài)專(zhuān)利找龍圖騰，真高效！ 查專(zhuān)利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專(zhuān)利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)恭喜鑫天虹(廈門(mén))科技有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利晶圓承載固定裝置及薄膜沉積設(shè)備獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115132643B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-17發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202110320510.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/687；該發(fā)明授權(quán)晶圓承載固定裝置及薄膜沉積設(shè)備是由林俊成;沈祐德;郭大豪;鄭啓鴻設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-03-25向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本晶圓承載固定裝置及薄膜沉積設(shè)備在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明為一種晶圓承載固定裝置，主要包括一承載盤(pán)、一第一蓋環(huán)及一第二蓋環(huán)，其中承載盤(pán)包括一承載面用以承載一晶圓。第二蓋環(huán)連接第一蓋環(huán)，并放置在第一蓋環(huán)的內(nèi)側(cè)，其中第一蓋環(huán)的周長(zhǎng)大于第二蓋環(huán)，并用以承載第二蓋環(huán)。當(dāng)承載盤(pán)朝第一蓋環(huán)及第二蓋環(huán)位移時(shí)，第二蓋環(huán)會(huì)接觸承載盤(pán)上的晶圓，以將晶圓固定在承載盤(pán)的承載面上，并可對(duì)晶圓進(jìn)行薄膜沉積制程。

本發(fā)明授權(quán)晶圓承載固定裝置及薄膜沉積設(shè)備在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種晶圓承載固定裝置，用以承載及固定大尺寸或小尺寸晶圓，其特征在于，包括： 一承載盤(pán)，包括一承載面用以承載該晶圓； 一承載構(gòu)件，設(shè)置在該承載盤(pán)上，并位于該晶圓的下方，其中該承載構(gòu)件包括一第一承載部及一第二承載部，該第一承載部包括一缺口，而該第二承載部則位于該缺口內(nèi)； 至少一升降單元，連接該承載構(gòu)件，并用以帶動(dòng)該第一承載部及該晶圓相對(duì)于該承載盤(pán)位移，使該晶圓離開(kāi)該承載盤(pán)的該承載面； 一第一蓋環(huán)，位于該承載盤(pán)的上方；及 一第二蓋環(huán)，連接該第一蓋環(huán)，并放置在該第一蓋環(huán)上，其中該第一蓋環(huán)的周長(zhǎng)大于該第二蓋環(huán)，并用以承載該第二蓋環(huán)，當(dāng)該承載盤(pán)承載小尺寸的該晶圓朝該第二蓋環(huán)位移時(shí)，該第二蓋環(huán)會(huì)接觸小尺寸的該晶圓；或當(dāng)將該第二蓋環(huán)由該第一蓋環(huán)上取下，該承載盤(pán)承載大尺寸的該晶圓朝該第一蓋環(huán)位移時(shí)，該第一蓋環(huán)會(huì)接觸大尺寸的該晶圓。

如需購(gòu)買(mǎi)、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類(lèi)似專(zhuān)利技術(shù)，可聯(lián)系本專(zhuān)利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人鑫天虹(廈門(mén))科技有限公司，其通訊地址為：361101 福建省廈門(mén)市廈門(mén)火炬高新區(qū)(翔安)產(chǎn)業(yè)區(qū)洪溪南路9號(hào)A棟102；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。