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龍圖騰網恭喜株式會社斯庫林集團申請的專利基板處理裝置以及基板處理方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114078726B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-17發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110948078.6，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權基板處理裝置以及基板處理方法是由高橋朋宏;岸田拓也;折坂昌幸設計研發完成，并于2021-08-18向國家知識產權局提交的專利申請。

本基板處理裝置以及基板處理方法在說明書摘要公布了：本發明能夠抑制不均勻地向在貯存于處理槽中的處理液中浸漬的基板供給處理液以提高處理品質。具有：抑制部，在由基板保持部保持的基板與處理液噴出部之間，遮擋從處理液噴出部噴出并且朝向基板的處理液的液流的至少一部分，來抑制從處理液噴出部向基板直接供給處理液；處理液噴出部，設置于由基板保持部保持的基板的下方側，從處理液噴出口朝向貯存空間的內底面噴出處理液；以及氣泡供給部，設置于由基板保持部保持的基板的下方側且處理液噴出口的上方側，向貯存于貯存空間的處理液供給氣泡。在鉛垂方向上的氣泡供給部與處理液噴出口之間，將經由貯存空間的內底面向上方流動的處理液的至少一部即分流對象液的液流分流成多個上升流，向基板引導。

本發明授權基板處理裝置以及基板處理方法在權利要求書中公布了：1.一種基板處理裝置，其特征在于，具有： 處理槽，具有貯存處理液的貯存空間，通過在貯存于所述貯存空間的所述處理液中浸漬基板來處理所述基板； 基板保持部，在所述貯存空間內將所述基板保持為立起姿勢； 處理液噴出部，具有從由所述基板保持部保持的所述基板的下方側朝向所述基板開口的噴出口，并從所述噴出口朝向所述基板噴出所述處理液；以及 抑制部，在由所述基板保持部保持的所述基板與所述處理液噴出部的所述噴出口之間，遮擋從所述處理液噴出部噴出并朝向所述基板的所述處理液的液流的至少一部分，從而抑制從所述處理液噴出部向所述基板直接供給所述處理液， 在將所述基板的面法線朝向第一方向的狀態下，所述基板保持部使多個所述基板在所述第一方向上排列并保持， 所述處理液噴出部沿所述第一方向延伸設置， 所述抑制部具有與所述處理液噴出部的所述噴出口對置并沿所述第一方向延伸設置的噴出對置面，從所述處理液噴出部噴出的所述處理液被所述噴出對置面遮擋。

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