恭喜盛美半導體設備(上海)股份有限公司賈照偉獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜盛美半導體設備(上海)股份有限公司申請的專利密封檢測裝置與方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN113122899B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-27發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201911387535.8,技術領域涉及:C25D17/00;該發明授權密封檢測裝置與方法是由賈照偉;盛俊威;王堅;王暉設計研發完成,并于2019-12-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本密封檢測裝置與方法在說明書摘要公布了:本發明提供了一種密封檢測裝置與方法,密封檢測裝置包括:第一電極、第二電極、連接第一電極和第二電極的電流檢測模塊以及連接電流檢測模塊的判斷模塊;電鍍設備所夾持的基板表面被密封件分隔為第一區域和第二區域;第一電極接觸連接第一區域,第二電極通過電鍍液連接第二區域,第一電極、基板、第二電極和電流檢測模塊之間構成檢測回路;電流檢測模塊通電檢測檢測回路的實際電流值,判斷模塊獲取實際電流值并判斷密封件的密封性。本發明通過引入電流檢測模塊對密封件的密封性能進行檢測,實現了對密封件密封性能的自動化檢測,避免了現有技術中目檢檢測所造成的漏檢誤檢,提高了電鍍設備的工藝穩定性和稼動率。
本發明授權密封檢測裝置與方法在權利要求書中公布了:1.一種密封檢測裝置,用于檢測電鍍設備密封件的密封性,其特征在于,包括: 第一電極、第二電極、電流檢測模塊和判斷模塊; 其中,用于檢測電流值的所述電流檢測模塊通過導線分別連接所述第一電極和所述 第二電極,所述判斷模塊連接所述電流檢測模塊并獲取所述電流值; 所述電鍍設備包括基板夾盤,所述基板夾盤的壓板用于從上方壓住所述基板,并通過所述密封件夾持所述基板的邊緣區域,以固定所述基板; 所述基板表面被所述密封件分隔為第一區域和第二區域,所述第一區域為所述基板的邊緣區域,所述第二區域為所述基板表面待電鍍區域;所述第一電極接觸并連接所述第一區域,所述第二電極通過電鍍液連接所述第二區域,以在所述第一電極、所述基板、所述第二電極和所述電流檢測模塊之間構成檢測回路;所述電流檢測模塊通電并檢測所述檢測回路中的實際電流值,所述判斷模塊從所述電流檢測模塊獲取所述實際電流值并根據所述實際電流值判斷所述密封件對于所述電鍍液的密封性。
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