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龍圖騰網恭喜北京科技大學申請的專利一種復合材料巨量微孔型磨拋氣浮主軸獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119820477B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510331254.X，技術領域涉及：B24B41/04；該發明授權一種復合材料巨量微孔型磨拋氣浮主軸是由謝貴久;王津;宋振;侯潤杰;馬健設計研發完成，并于2025-03-20向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種復合材料巨量微孔型磨拋氣浮主軸在說明書摘要公布了：本發明公開了一種復合材料巨量微孔型磨拋氣浮主軸，包括水冷電機、氣浮軸承、水氣開關，其在進水管內流入液體時，允許觸動第一微動開關，第一微動開關控制進氣管的氣動隔膜閥的打開。本發明通過上述水氣開關可調節進水管和進氣管的工作順序，從而避免在進水管并未進水的時候，水冷電機的電機轉子進行旋轉，從而保證石墨烯青銅復合巨量微孔材料制成的止推軸承墊在工作時必然形成氣膜，進而保證其工作壽命和晶圓減薄的工藝質量。

本發明授權一種復合材料巨量微孔型磨拋氣浮主軸在權利要求書中公布了：1.一種復合材料巨量微孔型磨拋氣浮主軸，其特征在于，包括 水冷電機，其電機冷卻套（120）和定子外軸套（130）形成的水倉（121）的一端與進水管（310）連通，另一端與出水管（320）連通； 氣浮軸承，包括止推軸承座（140）和止推軸承墊（150），所述止推軸承座（140）和止推軸承墊（150）與水冷電機的支撐軸（230）之間形成氣路（141），所述氣路的一端與進氣管（410）連通，氣路（141）的另一端與出氣管（420）連通； 水氣開關（500），其在進水管（310）內流入液體時，允許觸動第一微動開關（513），第一微動開關（513）控制進氣管（410）的氣動隔膜閥（311）的打開；并且，所述水氣開關（500）在進水管（310）不流入液體時，不允許觸動第一微動開關（513），并觸動第二微動開關（514），第二微動開關（514）控制進氣管（410）的氣動隔膜閥（311）和水冷電機的電機轉子（210）的關閉； 所述水氣開關（500）包括第一導軌（510）、第一擺桿（520）、第二擺桿（521）、第一滑塊（511）、第一觸點（512）、第一微動開關（513）、第二微動開關（514）、第二滑塊（530）、單向閥（600）；第一導軌（510）與進水管（310）固定，所述第一導軌（510）鉸接有第一擺桿（520），所述第一擺桿（520）與第二擺桿（521）鉸鏈連接，所述第二擺桿（521）開設有腰圓孔（522），所述腰圓孔（522）內設有沿其移動的卡銷（523），所述卡銷（523）與第一滑塊（511）固定，所述第一滑塊（511）沿第一擺桿（520）移動，第一滑塊（511）與第一觸點（512）固定，所述第一觸點能夠與第一微動開關（513）或第二微動開關（514）搭接； 所述第一擺桿（520）和第一滑塊（511）均能夠與所述第二滑塊（530）限位搭接，當所述第二滑塊（530）與第一擺桿（520）限位搭接時，第一擺桿（520）無法擺動；當所述第二滑塊（530）與第一滑塊（511）限位搭接時，所述第一滑塊（511）的第一觸點（512）只與第二微動開關（514）限位搭接； 其中，所述進水管（310）的單向閥（600）的密封球（620）由磁鐵制成，所述第二滑塊（530）由鐵制成，所述密封球（620）能夠在有水流時，將所述第二滑塊（530）吸引至不與第一擺桿（520）和第一滑塊（511）限位搭接的位置；所述密封球（620）能夠在沒有水流時，將所述第二滑塊（530）吸引至與第一擺桿（520）和第一滑塊（511）限位搭接的位置； 其中，所述第一微動開關（513）與進氣管（410）的氣動隔膜閥（311）通信連接，當所述第一觸點（512）與第一微動開關（513）搭接時，所述氣動隔膜閥（311）打開；所述第二微動開關（514）與進氣管（410）的氣動隔膜閥（311）和水冷電機的控制模塊通信連接，當所述第一觸點（512）與第二微動開關（514）搭接時，所述氣動隔膜閥關閉，并且水冷電機的電機轉子（210）關閉。

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