恭喜日本株式會社日立高新技術科學杉山安彥獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜日本株式會社日立高新技術科學申請的專利會聚離子束裝置及會聚離子束裝置的控制方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN112687507B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-10發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202010696775.2,技術領域涉及:H01J37/08;該發明授權會聚離子束裝置及會聚離子束裝置的控制方法是由杉山安彥;廣瀨菜緒子設計研發完成,并于2020-07-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本會聚離子束裝置及會聚離子束裝置的控制方法在說明書摘要公布了:本發明提供會聚離子束裝置及會聚離子束裝置的控制方法,能夠將射束控制到所希望的軌道。會聚離子束裝置具備:離子源,其產生離子;第一靜電透鏡,其使離子加速并將其會聚,形成離子束;射束增強器電極,其使離子束進一步加速;一個或多個電極,它們設置在射束增強器電極內,使離子束靜電偏轉;第二靜電透鏡,其配置在一個或多個電極與試樣臺之間,將被施加了電壓的離子束會聚;以及處理部,其取得測定條件,基于取得的測定條件,設定向一個或多個電極施加的各個電壓及向靜電透鏡施加的電壓中的至少一個電壓。
本發明授權會聚離子束裝置及會聚離子束裝置的控制方法在權利要求書中公布了:1.一種會聚離子束裝置,其中,所述會聚離子束裝置具備:離子源,其產生離子;第一靜電透鏡,其使所述離子加速并將其會聚,形成離子束;射束增強器電極,其使所述離子束進一步加速;一個或多個電極,它們設置在所述射束增強器電極內,使所述離子束靜電偏轉;第二靜電透鏡,其配置在一個或多個所述電極與試樣臺之間,將被施加了電壓的所述離子束會聚;以及處理部,其取得測定條件,基于取得的測定條件,設定向一個或多個所述電極施加的各個電壓及向所述靜電透鏡施加的電壓中的至少一個電壓,所述測定條件包括確定使所述離子加速的加速電壓的信息、和確定向由所述第一靜電透鏡會聚的所述離子束施加的射束增強器電壓的信息。
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