恭喜株式會社荏原制作所宮崎充獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜株式會社荏原制作所申請的專利清洗部件安裝機構及基板清洗裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN113751448B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-10發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202110614631.2,技術領域涉及:B08B11/00;該發明授權清洗部件安裝機構及基板清洗裝置是由宮崎充;藤本友章;井上拓也設計研發完成,并于2021-06-02向國家知識產權局提交的專利申請。
本清洗部件安裝機構及基板清洗裝置在說明書摘要公布了:一種清洗部件安裝機構及基板清洗裝置,清洗部件安裝機構具有:清洗部件保持部200,該清洗部件保持部能夠安裝具有用于對基板W進行清洗的清洗部件的清洗部件組件100;部件旋轉部180,該部件旋轉部使由所述清洗部件保持部200保持的所述清洗部件組件100旋轉;以及移動部150,該移動部使所述清洗部件保持部200以拆卸了所述清洗部件組件100的狀態沿著軸向進行移動,并且定位于限制所述清洗部件保持部200的旋轉的旋轉固定位置。
本發明授權清洗部件安裝機構及基板清洗裝置在權利要求書中公布了:1.一種清洗部件安裝機構,其特征在于,具備:清洗部件保持部,該清洗部件保持部能夠安裝具有用于對基板進行清洗的清洗部件的清洗部件組件;部件旋轉部,該部件旋轉部使由所述清洗部件保持部保持的所述清洗部件組件旋轉;以及移動部,該移動部使所述清洗部件保持部以拆卸了所述清洗部件組件的狀態沿著軸向進行移動,并且定位于限制所述清洗部件保持部的旋轉的旋轉固定位置,所述清洗部件保持部具有在周緣外側突出的周緣突出部,所述周緣突出部與收容所述清洗部件保持部的至少一部分的收容部的內表面面接觸,并且所述周緣突出部被按壓向所述收容部的內表面,從而限制所述清洗部件保持部的旋轉。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社荏原制作所,其通訊地址為:日本國東京都大田區羽田旭町11番1號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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