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龍圖騰網(wǎng)恭喜朗姆研究公司申請(qǐng)的專利用于脈寬調(diào)制的劑量控制的系統(tǒng)及方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN111164743B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-17發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：201880062506.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)用于脈寬調(diào)制的劑量控制的系統(tǒng)及方法是由馬里施·格雷戈?duì)栐O(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2018-09-21向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本用于脈寬調(diào)制的劑量控制的系統(tǒng)及方法在說明書摘要公布了：一種用于處理襯底的襯底處理系統(tǒng)包含：歧管和位于處理室內(nèi)的多個(gè)注射器組件。所述多個(gè)注射器組件中的每一個(gè)與所述歧管流體連通且包含閥，所述閥包括入口和出口。劑量控制器被配置成：與所述多個(gè)注射器組件中的每一個(gè)中的所述閥通信；以及基于在所述多個(gè)注射器組件中的每一個(gè)中的所述閥之間的制造差異和在所述多個(gè)注射器組件中的每一個(gè)中的所述閥的非一致性中的至少一者，調(diào)整供應(yīng)至所述多個(gè)注射器組件中的每一個(gè)中的所述閥的脈沖寬度，以使期望的劑量從所述多個(gè)注射器組件中的每一個(gè)中的所述閥供應(yīng)。

本發(fā)明授權(quán)用于脈寬調(diào)制的劑量控制的系統(tǒng)及方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于處理襯底的襯底處理系統(tǒng)，所述襯底處理系統(tǒng)包含： 歧管； 多注射器噴頭，其包括位于處理室內(nèi)的多個(gè)注射器組件， 其中所述多個(gè)注射器組件中的每一個(gè)與所述歧管流體連通且包含閥，所述閥包括入口和出口； 劑量控制器，其被配置成： 與所述多個(gè)注射器組件中的每一個(gè)中的所述閥通信；以及 基于在所述多個(gè)注射器組件中的每一個(gè)中的所述閥之間的制造差異和在所述多個(gè)注射器組件中的每一個(gè)中的所述閥的非一致性中的至少一者，調(diào)整供應(yīng)至所述多個(gè)注射器組件中的每一個(gè)中的所述閥的脈沖寬度，以使期望的劑量從所述多個(gè)注射器組件中的每一個(gè)中的所述閥供應(yīng)。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。