恭喜株式會社LG化學樸泰文獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰,真高效! 查專利查商標用IPTOP,全免費!專利年費監控用IP管家,真方便!
龍圖騰網恭喜株式會社LG化學申請的專利用于除去光致抗蝕劑的剝離劑組合物和使用其剝離光致抗蝕劑的方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115039036B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-30發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202180012135.8,技術領域涉及:G03F7/42;該發明授權用于除去光致抗蝕劑的剝離劑組合物和使用其剝離光致抗蝕劑的方法是由樸泰文;李東勛;宋賢宇;李佑然設計研發完成,并于2021-09-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于除去光致抗蝕劑的剝離劑組合物和使用其剝離光致抗蝕劑的方法在說明書摘要公布了:本發明涉及用于除去光致抗蝕劑的剝離劑組合物以及用于使用其剝離光致抗蝕劑的方法,所述用于除去光致抗蝕劑的剝離劑組合物可以具有優異的光致抗蝕劑剝離力,可以在剝離過程中抑制對下面的金屬膜的腐蝕,并且可以有效地除去氧化物。
本發明授權用于除去光致抗蝕劑的剝離劑組合物和使用其剝離光致抗蝕劑的方法在權利要求書中公布了:1.一種用于除去光致抗蝕劑的剝離劑組合物,包含:兩種或更多種胺化合物;非質子溶劑,所述非質子溶劑選自其中氮經一個或兩個C1至C5線性或支化烷基取代的酰胺化合物、砜化合物和亞砜化合物;質子溶劑;以及腐蝕抑制劑,其中所述胺化合物包含a叔胺化合物和b環狀胺化合物和伯胺化合物;或者a叔胺化合物和b環狀胺化合物和仲胺化合物,以及所述a叔胺化合物與所述b胺化合物的重量比為1:0.05至1:0.8,其中所述環狀胺化合物與所述伯胺化合物的重量比為1:1至1:10;或者所述環狀胺化合物與所述仲胺化合物的重量比為1:1至1:10,其中基于總的剝離劑組合物,所述胺化合物以0.1重量%至10重量%的含量包含在內。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社LG化學,其通訊地址為:韓國首爾;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息,力求客觀、公正,但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解,僅供參考使用,不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。