恭喜西華大學陽小明獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜西華大學申請的專利基于低載流子壽命提高SOI橫向功率器件耐壓的結構獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114335151B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-30發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210026167.X,技術領域涉及:H10D62/10;該發明授權基于低載流子壽命提高SOI橫向功率器件耐壓的結構是由陽小明;李天倩;曹太強;吳健;李佰強;楊志國設計研發完成,并于2022-01-11向國家知識產權局提交的專利申請。
本基于低載流子壽命提高SOI橫向功率器件耐壓的結構在說明書摘要公布了:本發明提供基于低載流子壽命提高SOI橫向功率器件耐壓的結構,包括結構上面的源電極、柵電極、漏電極;源電極下面有p+、n+區域,p+區域用于消除寄生NPN晶體管效應,n+區域用于收集溝道流過來的電子;柵電極下面有雙擴散形成的P阱,為n溝道;當柵電壓大于閾值電壓時,柵氧層下面形成電子層,器件導通;漏極下面為n+區域;柵電極、漏電極之間為漂移區,用于提高器件關斷時的耐壓;漂移區的下方為低載流子壽命層;低載流子壽命層下面是埋氧層,將漂移區和襯底作了電氣隔離;埋氧層下面是P型襯底,器件底部為襯底電極。該發明廣泛應用于高壓SOI橫向功率器件與集成電路;以較低的成本提高了SOI功率器件的耐壓。
本發明授權基于低載流子壽命提高SOI橫向功率器件耐壓的結構在權利要求書中公布了:1.基于低載流子壽命提高SOI橫向功率器件耐壓的結構,包括結構上面的源電極(1)、柵電極(2)、漏電極(3);源電極(1)下面有p+、n+區域,p+區域用于消除寄生NPN晶體管效應,n+區域用于收集溝道流過來的電子;柵電極(2)下面有雙擴散形成的P阱,為n溝道;當柵電壓大于閾值電壓時,柵氧層下面形成電子層,器件導通;漏電極(3)下面為n+區域;柵電極(2)、漏電極(3)之間為漂移區(4),用于提高器件關斷時的耐壓;其特征在于:漂移區(4)的下方為低載流子壽命層(5),由N型硅中引入深能級復合中心得到;低載流子壽命層(5)下面是埋氧層(6),將漂移區(4)和襯底做了電氣隔離;埋氧層(6)下面是P型襯底(7),器件底部為襯底電極;通過在漂移區(4)與埋氧層(6)之間引入一低載流子壽命的硅層;設計SOI橫向功率器件的耐壓時,優化器件參數使擊穿發生在漏電極下方頂層硅與埋氧層界面硅側處;而引入的低載流子壽命硅層提高器件擊穿處的臨界擊穿電場,從而提高器件的耐壓。
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