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龍圖騰網恭喜北京半導體專用設備研究所(中國電子科技集團公司第四十五研究所)申請的專利一種晶圓的對準標記的確定方法和確定裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114695228B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-30發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210328405.2，技術領域涉及：H01L21/68；該發明授權一種晶圓的對準標記的確定方法和確定裝置是由蘇鵬方;杜旭;高榮榮;曲越奇;張香蘭設計研發完成，并于2022-03-30向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶圓的對準標記的確定方法和確定裝置在說明書摘要公布了：本申請提供了一種晶圓的對準標記的確定方法和確定裝置，其中，所述確定方法包括：獲取目標晶圓上的每個對準標記單元上設置的對準標記的標記類型和標記質量；根據獲取的每個對準標記的標記類型和標記質量進行組合，得到每個對準標記的類別標識；確定每個對準標記組合的類別組合標識；以運動臺的移動路徑最短為目標，確定運動臺在每種類別標識下或每種類別組合標識下所對準的對準標記的對準順序；按照確定的對準順序，根據預先確定的配對數量，對對準標記進行配對，以得到目標晶圓的目標對準標記。通過所述確定方法和確定裝置，能夠選擇出使晶圓工作臺運動更小的距離的對準標記，從而提升了生產芯片的效率，降低了生產芯片所需的成本。

本發明授權一種晶圓的對準標記的確定方法和確定裝置在權利要求書中公布了：1.一種晶圓的對準標記的確定方法，其特征在于，所述晶圓上包括多個曝光塊，每個曝光塊上包括至少一個對準標記單元，每個對準標記單元上設置有一個對準標記；所述對準標記包括至少一個平行于水平方向X軸的X標記和或至少一個平行于豎直方向Y軸的Y標記；所述確定方法包括：獲取目標晶圓上的每個對準標記單元上設置的對準標記的標記類型和標記質量；所述標記類型包括XY型、X型和Y型；所述XY型為對準標記同時包括至少一個X標記和至少一個Y標記的類型；所述X型為對準標記僅包括至少一個X標記的類型；所述Y型為對準標記僅包括至少一個Y標記的類型；所述標記質量用于評價每個對準標記上的X標記和或Y標記的質量情況；所述標記質量包括A質量和B質量；根據獲取的每個對準標記的標記類型和標記質量進行組合，得到每個對準標記的類別標識；所述類別標識包括以下項中的任意一項：標記類型為XY型且標記質量為A、標記類型為XY型且標記質量為B、標記類型為X型且標記質量為A、標記類型為X型且標記質量為B、標記類型為Y型且標記質量為A、標記類型為Y型且標記質量為B；將每個曝光塊上的一個標記類型為X型的對準標記和一個標記類型為Y型的對準標記進行組合，得到每個曝光塊上的一個對準標記組合；并將每個曝光塊上的對準標記組合中每個對準標記的類別標識進行組合，得到每個對準標記組合的類別組合標識；所述類別組合標識包括以下項中的任意一項：標記類型為X型且標記質量為A和標記類型為Y型且標記質量為A、標記類型為X型且標記質量為A和標記類型為Y型且標記質量為B、標記類型為X型且標記質量為B和標記類型為Y型且標記質量為A、標記類型為X型且標記質量為B和標記類型為Y型且標記質量為B；以運動臺的移動路徑最短為目標，確定運動臺在每種類別標識下或每種類別組合標識下所對準的對準標記的對準順序；按照確定的對準順序，根據預先確定的配對數量，對對準標記進行配對，以得到目標晶圓的目標對準標記。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京半導體專用設備研究所(中國電子科技集團公司第四十五研究所)，其通訊地址為：100176 北京市北京經濟技術開發區泰河三街1號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。