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龍圖騰網恭喜深圳市立可自動化設備有限公司申請的專利批量芯片的自動化除塵方法、設備、除塵檢測機及介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119725138B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-30發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510231355.X，技術領域涉及：H01L21/66；該發明授權批量芯片的自動化除塵方法、設備、除塵檢測機及介質是由周曉龍;葉昌隆;陳雨杰;史文濤設計研發完成，并于2025-02-28向國家知識產權局提交的專利申請。

本批量芯片的自動化除塵方法、設備、除塵檢測機及介質在說明書摘要公布了：本申請涉及自動清潔技術，公開了一種批量芯片的自動化除塵方法、設備、除塵檢測機及介質，包括：將清洗后的多個芯片置入除塵檢測機的檢測區域；控制運動相機對檢測區域內的芯片，逐個進行圖像拍攝；每拍攝得到同一芯片的所有方位圖像，合成芯片圖像；每得到一個芯片的芯片圖像，則利用圖像識別技術，對芯片圖像進行污跡檢測；若檢測到芯片存在污跡，則根據污跡所處的芯片位置，記錄污跡坐標，并將污跡坐標與污跡所處的芯片區域、污跡信息進行關聯；在對所有芯片完成污跡檢測后，生成除塵軌跡；控制機械手沿除塵軌跡，使用除塵棒逐個清除各處芯片污跡。本申請旨在實現高效、精確的批量芯片的自動化除塵。

本發明授權批量芯片的自動化除塵方法、設備、除塵檢測機及介質在權利要求書中公布了：1.一種批量芯片的自動化除塵方法，其特征在于，包括：將清洗后的多個芯片置入除塵檢測機的檢測區域；控制運動相機對檢測區域內的芯片，逐個進行圖像拍攝；其中，運動相機對各芯片的各方位圖像進行逐個拍攝，并在拍攝完同一芯片的所有方位圖像后，再對下一個芯片進行圖像拍攝；每拍攝得到同一芯片的所有方位圖像后，則對同一芯片的所有方位圖像進行圖像合成，得到同一芯片的芯片圖像；每得到一個芯片的芯片圖像，則利用圖像識別技術，對芯片圖像進行污跡檢測；若檢測到芯片存在污跡，則根據污跡所處的芯片位置，記錄污跡坐標，并將污跡坐標與污跡所處的芯片區域、污跡信息進行關聯，其中，污跡信息包括面積大小和顏色深淺；以及，控制機械手前往除塵棒放置區夾取除塵棒，并移動至待機位置；在對所有芯片完成污跡檢測后，以機械手的待機位置為起點，依次連接所有污跡坐標，并進行最短路徑規劃，生成除塵軌跡；控制機械手沿除塵軌跡，使用除塵棒逐個清除各處芯片污跡；其中，根據每處污跡所處的芯片區域的受力上限值和污跡信息，調整機械手使用除塵棒擦除污跡時的按壓力；所述批量芯片的自動化除塵方法還包括：在污跡面積大于或等于預設面積時，通過機械手控制除塵棒對污跡進行單次擦除的過程中，使除塵棒以第一按壓力接觸芯片表面后，逐漸加大按壓力，并使除塵棒往污跡中心點處滾動，直至除塵棒以第二按壓力抵達污跡中心點；其中，第二按壓力為芯片區域的受力上限值；控制除塵棒自污跡中心點繼續滾動前進的同時，逐漸減小按壓力，直至除塵棒以第一按壓力脫離污跡區域，以減少除塵棒對芯片表面產生的機械應力；其中，控制除塵棒滾動的過程中，還在預設速度范圍內，根據污跡的顏色深淺調節滾動速度；在污跡面積小于預設面積時，通過機械手控制除塵棒以預定速度對污跡區域進行平擦；其中，平擦時使用的按壓力小于芯片區域的受力上限值；預定速度根據污跡的顏色深淺設定。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人深圳市立可自動化設備有限公司，其通訊地址為：518000 廣東省深圳市寶安區福永街道重慶路西卓科科技園第二棟；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。