恭喜天通日進精密技術有限公司李鑫獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜天通日進精密技術有限公司申請的專利多工位開方設備及其切割方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN111844490B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-27發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201910361097.1,技術領域涉及:B28D5/04;該發明授權多工位開方設備及其切割方法是由李鑫;張峰;錢春軍;裴忠;蘇靜洪設計研發完成,并于2019-04-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本多工位開方設備及其切割方法在說明書摘要公布了:本申請公開了一種多工位開方設備及其切割方法,屬于硅棒加工技術領域。包括至少兩個硅棒承載臺,用于承載立式置放的單晶硅棒,各所述硅棒承載臺具有轉動機構;以及線切割裝置,設置在所述至少兩個硅棒承載臺的上方,包括多個切割輪以及繞于所述多個切割輪形成有一條切割線段或相互平行的兩條切割線段的切割線。通過本申請的多工位開方設備及其切割方法可同時完成對多個硅棒的開方作業,且使得硅棒在開方處理后截面呈矩形,而已開方硅棒整體呈長方體且形成邊皮數量為四個,能夠提高硅棒開方的切割作業效率,增大已開方硅棒的橫截面面積的同時降低了硅棒開方的整體成本和風險性。
本發明授權多工位開方設備及其切割方法在權利要求書中公布了:1.一種多工位開方設備,用于對截面為圓形的單晶硅棒進行開方作業,其特征在于,包括:至少兩個硅棒承載臺,用于承載立式置放的單晶硅棒,各所述硅棒承載臺具有轉動機構;所述至少兩個硅棒承載臺可設于硅棒工作臺上,所述硅棒工作臺上設有工作臺轉換機構,用于驅動所述硅棒工作臺作轉換運動以令所述硅棒工作臺上的硅棒承載臺在裝卸區和切割區之間轉換;以及線切割裝置,設置在所述至少兩個硅棒承載臺的上方,包括多個切割輪以及繞于所述多個切割輪形成有一條切割線段或相互平行的兩條切割線段的切割線;所述切割輪包括用于繞設切割線的第一線槽及第二線槽,所述切割輪通過自動換槽機構將切割線由所述第一線槽移至第二線槽內;所述自動換槽機構包括:換槽筒,與所述切割輪相聯動,用于帶動所述切割輪沿其軸向移動以將所述切割線由所述第一線槽移至第二線槽內,包括筒本體,以及開設于所述筒本體上的相互連通第一導軌及第二導軌,所述第一導軌與第二導軌之間的落差對應于所述第一線槽及第二線槽之間的槽距;定位件,可相對滑動地設置在所述第一導軌或第二導軌內,用于在所述換槽筒沿軸向移動時在所述第一導軌或第二導軌內滑移帶動所述換槽筒旋轉,以迫使所述切割輪上的切割線由所述第一線槽切換至第二線槽;其中,在開方作業時,驅動所述線切割裝置下降,由所述一條切割線段或兩條切割線段同時對所述多個硅棒承載臺所承載的多個單晶硅棒沿其長度方向進行第一方向側面的切割;之后,利用所述轉動機構驅動硅棒承載臺以使所述單晶硅棒轉換待切割面,驅動所述線切割裝置下降,由所述一條切割線段或兩條切割線段同時對所述多個硅棒承載臺所承載的多個單晶硅棒沿其長度方向進行第二方向側面的切割。
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