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龍圖騰網恭喜朗姆研究公司申請的專利四站式處理模塊的前級管道組件獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113728421B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-27發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080029941.1，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權四站式處理模塊的前級管道組件是由米格爾·本杰明·瓦斯克斯;埃米爾·德拉佩設計研發完成，并于2020-04-14向國家知識產權局提交的專利申請。

本四站式處理模塊的前級管道組件在說明書摘要公布了：提供了一種用于四站式處理模塊QSM的前級管道組件。在一些示例中，該前級管道組件包含：四個入口，每個入口能連接至所述QSM的處理模塊的室端口；和出口，其能直接或間接連接至真空源。第一前級管道分岔鄰近所述前級管道組件的所述出口而設置。兩個第二分岔各自設置在所述第一前級管道分岔與相應的成對的所述入口之間。所述第一前級管道分岔和所述第二分岔將所述前級管道組件分為三個管段。各管段中的前級管道的相應的直徑：在從所述入口中的至少一者至所述前級管道組件的所述出口的氣體流方向上在相應的分岔處逐步增加，且在所述前級管道組件的相應的管段內不變。

本發明授權四站式處理模塊的前級管道組件在權利要求書中公布了：1.一種用于四站式處理模塊的前級管道組件，該前級管道組件包含：四個入口，每個入口能連接至所述四站式處理模塊的處理模塊的室端口；出口，其能直接或間接連接至真空源；第一分岔，其鄰近所述前級管道組件的所述出口而設置；兩個第二分岔，每個第二分岔設置在所述第一分岔與相應的成對的所述入口之間；所述第一分岔和所述第二分岔將所述前級管道組件分為三個管段：第一管段，其從所述入口延伸至所述兩個第二分岔，第二管段，其從所述兩個第二分岔延伸至所述第一分岔，和第三管段，其從所述第一分岔延伸至所述前級管道組件的所述出口；其中各管段中的前級管道的相應的直徑：在從所述入口中的至少一者至所述前級管道組件的所述出口的氣體流方向上在相應的分岔處逐步增加，且在所述前級管道組件的相應的管段內不變；其中所述前級管道組件的所述第一管段包含四個前級管道，每一個都包含沿著所述前級管道而間隔設置的三個基本上呈直角的彎管。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。