恭喜江蘇新智達新能源設備有限公司向軍獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜江蘇新智達新能源設備有限公司申請的專利高效率晶圓安裝機構獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119361468B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-03發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202411275403.7,技術領域涉及:H01L21/67;該發明授權高效率晶圓安裝機構是由向軍設計研發完成,并于2019-05-07向國家知識產權局提交的專利申請。
本高效率晶圓安裝機構在說明書摘要公布了:本發明提供了一種高效率晶圓安裝機構,包括;旋轉座,所述旋轉座轉動連接在基座上;兩個擺臂,兩個所述擺臂對稱設置在所述旋轉座左右兩側,且兩個所述擺臂能分別上下移動的連接在所述旋轉座上,兩個所述擺臂的自由端均具有用于抓取晶圓的夾口。通過旋轉座帶動兩個擺臂轉動,并且兩個擺臂能相對于旋轉座上下移動,以使一個擺臂可以抓取晶圓,另一個擺臂同時將其上的晶圓安裝到石墨盤上,從而提高通過擺臂拾取晶圓的效率。
本發明授權高效率晶圓安裝機構在權利要求書中公布了:1.一種高效率晶圓安裝機構,其特征在于,包括;旋轉座,所述旋轉座轉動連接在固定的基座上;兩個擺臂,兩個所述擺臂對稱設置在所述旋轉座的左右兩側,且兩個所述擺臂位于同一條水平方向的直線上,所述旋轉座能帶動兩個所述擺臂轉動;且兩個所述擺臂能分別上下滑動的連接在所述旋轉座上,兩個所述擺臂的自由端均具有用于抓取晶圓的夾口;兩個所述擺臂分別連接在兩個連接座上,所述旋轉座的兩個側面均連接有一對沿豎直方向設置的第一導軌,各所述第一導軌上均滑動連接有第一滑塊,所述第一滑塊連接在相對應的所述連接座上;所述基座的下端設有兩個支座,所述旋轉座位于兩個所述支座之間;兩個所述支座上分別連接有能上下移動的半圓形上下轉環,兩個所述半圓形上下轉環分別環繞在所述旋轉座的左右兩側,各所述半圓形上下轉環均具有半圓形滑道;兩個所述連接座上均連接有支撐塊,兩個所述支撐塊上均轉動連接有滾輪,兩個所述滾輪分別在相對應的所述半圓形滑道內滾動;所述基座的兩側分別連接有鏡頭筒,所述鏡頭筒的下端連接有環形燈,所述基座上安裝有驅動電機,所述驅動電機的轉軸豎直向下設置,所述旋轉座固定設置在所述驅動電機的轉軸上。
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