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龍圖騰網恭喜朗姆研究公司申請的專利用于自動化晶片搬運機械手教導與健康檢查的整合適應性定位系統及例程獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114466728B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-27發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080066598.8，技術領域涉及：B25J9/16；該發明授權用于自動化晶片搬運機械手教導與健康檢查的整合適應性定位系統及例程是由侯賽因·薩迪吉;理查德·M·布蘭克;彼得·S·圖拉德;馬克·E·愛默生;阿魯爾塞爾瓦姆·西蒙·杰亞帕蘭;馬爾科·皮奇加洛設計研發完成，并于2020-07-21向國家知識產權局提交的專利申請。

本用于自動化晶片搬運機械手教導與健康檢查的整合適應性定位系統及例程在說明書摘要公布了：公開了判斷和使用用于將晶片提供至半導體處理工具的晶片站的晶片支撐件的多種類型偏移的系統和技術；這樣的技術和系統可使用可具有多個傳感器的自動校準晶片，所述傳感器包含可用于攝像與位于選定晶片站中的兩種不同結構相關的基準的多個位于邊緣的攝像傳感器。

本發明授權用于自動化晶片搬運機械手教導與健康檢查的整合適應性定位系統及例程在權利要求書中公布了：1.一種用于半導體處理的系統，包括：半導體處理工具，該半導體處理工具包含：晶片搬運機械手；一或多個晶片站；以及第二控制器，其中：每一晶片站具有一或多個對應的晶片支撐件，以及所述晶片搬運機械手與所述第二控制器通訊連接；以及自動校準晶片，其包含：襯底，其尺寸被設置成能被所述晶片搬運機械手運送并且具有第一側，所述第一側被配置成當所述襯底由所述晶片搬運機械手運送時與所述晶片搬運機械手的末端執行器接觸；多個第一攝像傳感器，其由所述襯底支撐且定位于偏離所述襯底的共同點的多個位置處，當所述襯底被定位成所述第一側面向下并且置于襯底支撐件上方時，每個所述第一攝像傳感器具有面向下的視場并且被配置為獲取以下項中的至少兩者的圖像：a與所述襯底支撐件相關的基準、b置于所述襯底支撐件上的半導體晶片、c置于所述襯底支撐件上的邊緣環；以及第一控制器，其中所述第一控制器與所述第一攝像傳感器中的每一者通信連接，以及所述第二控制器和所述第一控制器共同被配置成：a選擇所述一或多個晶片站中的第一晶片站的所述一或多個晶片支撐件中的第一晶片支撐件；b使所述晶片搬運機械手將所述自動校準晶片定位在所述第一晶片支撐件上方；c使每個第一攝像傳感器在所述自動校準晶片定位在所述第一晶片支撐件上方時獲得所述第一晶片支撐件的基準的對應的第一圖像；d基于第一圖像確定第一晶片支撐件中心點的位置信息；e使所述晶片搬運機械手取回校準晶片，f使所述晶片搬運機械手將所述校準晶片傳送至所述第一晶片支撐件，使得當沿著豎直軸觀看時所述校準晶片的中心點標稱居中于所述第一晶片支撐件的中心點上；g使所述晶片搬運機械手將所述自動校準晶片定位于所述第一晶片支撐件與所述校準晶片上方；h使每個第一攝像傳感器獲得當所述自動校準晶片定位于所述第一晶片支撐件與所述校準晶片上方時所述第一晶片支撐件的基準與所述校準晶片的基準的對應的第二圖像；以及i基于在所述第二圖像中的所述第一晶片支撐件與所述校準晶片的基準之間的間隙尺寸判斷所述校準晶片的所述中心點與所述第一晶片支撐件的所述中心點之間的晶片晶片支撐件的水平偏移。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。