恭喜特銓股份有限公司陳明生獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網恭喜特銓股份有限公司申請的專利自動粘脫設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113628996B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-27發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010887368.X，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權自動粘脫設備是由陳明生設計研發完成，并于2020-08-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本自動粘脫設備在說明書摘要公布了：本發明涉及一種自動粘脫設備，該粘脫設備包含有一供吸附一無線靜電載盤的載板靜電生成組，以及一供吸附一薄化基板的基板移載組，而該基板移載組可相對該載板靜電生成組線性位移，使得該基板移載組可帶動薄化基板壓合于該載板靜電生成組的無線靜電載盤表面，如此，可驅動該載板靜電生成組使無線靜電載盤生成靜電電力場，以粘合該薄化基板，而能提升粘合效率，且可大幅降低粘合失敗率，并減少生裂損或破片的發生。
本發明授權自動粘脫設備在權利要求書中公布了：1.一種自動粘脫設備，用于一無線靜電載盤與一薄化基板的粘合或解離，該無線靜電載盤底面具有導電生成靜電電力場的導極，其特征在于，該自動粘脫設備包含有：一框架；一載板靜電生成組，其設于該框架上，該載板靜電生成組具有一供無線靜電載盤平置的工作平面，該工作平面上分設有系列對應無線靜電載盤底面的吸附件，且該工作平面上具有二的倍數個對應接觸無線靜電載盤底導極的導極，以驅動生成或釋放該無線靜電載盤的靜電電力場，該工作平面上具有一導柱組，該導柱組包含至少二個限制載盤橫向位置的固定導柱及至少一能夠橫向推動載盤與固定導柱嚙合的活動導柱，使得無線靜電載盤或薄化基板能夠定位于工作平面的一正確位置；一基板移載組，其設于該框架上且與該載板靜電生成組相對，該基板移載組與該載板靜電生成組能夠相對移動，使得該基板移載組能夠吸附一具有正確位置的薄化基板；當該基板移載組帶動薄化基板與無線靜電載盤壓合后，能夠驅動該載板靜電生成組使無線靜電載盤生成靜電電力場，以粘合該薄化基板。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人特銓股份有限公司，其通訊地址為：中國臺灣新北市；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號