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龍圖騰網恭喜應用材料以色列公司申請的專利多視角晶片分析獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116368377B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-27發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180067312.2，技術領域涉及：G01N21/95；該發明授權多視角晶片分析是由H·費爾德曼;E·內斯坦;H·伊蘭;S·阿拉德;I·阿爾莫格;O·戈拉尼設計研發完成，并于2021-09-02向國家知識產權局提交的專利申請。

本多視角晶片分析在說明書摘要公布了：本文中公開了一種用于檢測樣本上的缺陷的方法。所述方法包括以下步驟：獲得多重視角中的樣本的區域的掃描數據；以及執行對獲得的掃描數據的整合分析。整合分析包括：基于獲得的掃描數據來計算跨視角協方差，和或估計跨視角協方差；以及在考慮到跨視角協方差的情況下，確定區域中的缺陷的存在。

本發明授權多視角晶片分析在權利要求書中公布了：1.一種用于檢測樣本上的缺陷的方法，所述方法包括以下步驟：獲得多重視角中的樣本的第一區域的掃描數據；以及執行對獲得的所述掃描數據的整合分析，所述整合分析包括：基于獲得的所述掃描數據來計算跨視角協方差；以及在考慮到所述跨視角協方差的情況下，確定所述第一區域中的缺陷的存在，其中確定所述第一區域中的所述缺陷的所述存在進一步包括：針對所述第一區域的多個子區域中的每一者，基于所述多重視角中的每一者中的所述第一區域的獲得的所述掃描數據和對應的參考數據，來產生所述多重視角中的每一者中的差異值；以及至少基于與所述子區域和相鄰于所述子區域的子區域相對應的所述差異值以及與所述子區域和相鄰的所述子區域相對應的噪聲值，來確定所述多個子區域中的每一者是否有缺陷，所述噪聲值包括來自所述跨視角協方差的對應協方差，其中所述確定所述多個子區域中的每一者是否有缺陷的步驟包括：產生協方差矩陣C，所述協方差矩陣C包括與所述子區域和相鄰于所述子區域的所述子區域相對應的所述噪聲值；將包括與所述子區域和相鄰的所述子區域相對應的所述差異值的第一向量v乘以所述協方差矩陣C的逆，以獲得第二向量；計算所述第二向量與第三向量的標量積，所述第三向量的分量包括表征缺陷的值；以及如果所述標量積大于預定閾值，則將所述子區域標記為有缺陷，其中： n是所述多個子區域的數量，m是所述多重視角的數量，所述第一向量v包括n×m個分量，vij表示第i個視角中的第j個子區域的所述值，i＝1、2、…、n，j＝1、2、…、m，所述協方差矩陣C由m×m個矩陣Cab組成，使得所述矩陣Cab中的每一者是n×n矩陣的協方差矩陣，a＝1、2、…、m，b＝1、2、…、m，Ca,b＝aa＝1、2、…、m分別在第a個視角中的不同子區域之間進行關聯，Ca,b≠a分別在第a個視角和第b個視角中的子區域之間進行關聯。

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