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龍圖騰網(wǎng)恭喜上海派拉綸生物技術股份有限公司申請的專利具有內部通道和異形表面的微型器件的派瑞林涂布與去膜方法獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予，授權公告號為：CN119698218B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-05-27發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202510206253.2，技術領域涉及：H10N10/01；該發(fā)明授權具有內部通道和異形表面的微型器件的派瑞林涂布與去膜方法是由張岳;陳志爭;楊玉衡;張金剛設計研發(fā)完成，并于2025-02-25向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。

本具有內部通道和異形表面的微型器件的派瑞林涂布與去膜方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供了一種具有內部通道和異形表面的微型器件的派瑞林涂布與去膜方法，包括在微型器件上形成掩膜層和涂布派瑞林膜層；采用激光切割微型器件頂面和微型器件底面的側邊并去除掩膜層和派瑞林膜層；將微型器件完全包裹設置于治具內部，具有掩膜層和派瑞林膜層的異形表面的頂部伸出治具的頂部；采用氧氣與氬氣對異形表面的頂部進行等離子刻蝕以去除掩膜層和派瑞林膜層，其中，刻蝕功率為1000?2000w，氧氣的氣體流量為60?200sccm，氬氣的氣體流量為5?20sccm。本發(fā)明采用激光切割和等離子刻蝕技術，能有效地在具有內部通道和異形表面的微型器件上進行派瑞林膜層涂布與去膜，并使膜層的斷裂界面整齊、光滑，提升去膜效率和精確度，同時大幅度降低對器件的潛在損傷風險。

本發(fā)明授權具有內部通道和異形表面的微型器件的派瑞林涂布與去膜方法在權利要求書中公布了：1.一種具有內部通道和異形表面的微型器件的派瑞林涂布與去膜方法，其特征在于，包括以下步驟：S101、在所述微型器件頂面、所述微型器件底面和所述異形表面的頂部形成掩膜層；S102、采用氣相沉積法在所述微型器件內部與外部表面涂布派瑞林膜層；S103、采用激光切割所述微型器件頂面和所述微型器件底面的側邊，然后去除所述微型器件頂面和所述微型器件底面上的掩膜層和派瑞林膜層；S104、將所述微型器件完全包裹設置于治具內部，具有掩膜層和派瑞林膜層的所述異形表面的頂部伸出所述治具的頂部；S105、采用氧氣與氬氣對所述異形表面的頂部進行等離子刻蝕以去除掩膜層和派瑞林膜層，其中，刻蝕功率為1000-2000w，氧氣的氣體流量為60-200sccm，氬氣的氣體流量為5-20sccm。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯(lián)系本專利的申請人或專利權人上海派拉綸生物技術股份有限公司，其通訊地址為：201812 上海市嘉定區(qū)江橋鎮(zhèn)金園三路223號2幢301室；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。