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恭喜長江存儲科技有限責任公司郭申獲國家專利權(quán)

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龍圖騰網(wǎng)恭喜長江存儲科技有限責任公司申請的專利半導體器件的制作方法、半導體器件及存儲器系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN114551456B

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-23發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202210087469.8,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H10B41/35;該發(fā)明授權(quán)半導體器件的制作方法、半導體器件及存儲器系統(tǒng)是由郭申;張志雄;桑瑞;李剛;張成;謝海波設計研發(fā)完成,并于2022-01-25向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

半導體器件的制作方法、半導體器件及存儲器系統(tǒng)在說明書摘要公布了:本申請?zhí)峁┮环N半導體器件的制作方法、半導體器件及存儲器系統(tǒng),該制作方法包括:在襯底上形成介質(zhì)層和多個間隔設置的第一淺隔離槽,襯底包括第一區(qū)域和第二區(qū)域,介質(zhì)層填充第一淺隔離槽,第一淺隔離槽位于第一區(qū)域中,相鄰兩個第一淺隔離槽之間的襯底形成鰭部;形成第一開口和至少兩個第二開口,第一開口暴露出鰭部的頂端,第二開口貫穿第二區(qū)域上的介質(zhì)層;形成第一柵極結(jié)構(gòu)和第二柵極結(jié)構(gòu),第一柵極結(jié)構(gòu)包裹頂端,第二柵極結(jié)構(gòu)位于相鄰兩個第二開口之間的介質(zhì)層上;通過第二開口,在第二區(qū)域中形成源極和漏極,從而能簡化半導體器件的制作工藝,降低工藝成本。

本發(fā)明授權(quán)半導體器件的制作方法、半導體器件及存儲器系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了:1.一種半導體器件的制作方法,其特征在于,包括:提供襯底,所述襯底包括第一區(qū)域和第二區(qū)域;在所述襯底上形成介質(zhì)層和多個間隔設置的第一淺隔離槽,所述介質(zhì)層填充所述第一淺隔離槽,所述第一淺隔離槽位于所述第一區(qū)域中,相鄰兩個所述第一淺隔離槽之間的所述襯底形成鰭部;在同一工藝步驟中在所述介質(zhì)層中形成第一開口和至少兩個第二開口,所述第一開口延伸至所述第一淺隔離槽內(nèi),且暴露出所述鰭部的頂端,所述第二開口位于所述第二區(qū)域上且貫穿所述介質(zhì)層;形成第一柵極結(jié)構(gòu)和第二柵極結(jié)構(gòu),所述第一柵極結(jié)構(gòu)包裹所述頂端,所述第二柵極結(jié)構(gòu)位于相鄰兩個所述第二開口之間的所述介質(zhì)層上;通過所述第二開口,在所述第二區(qū)域中形成源極和漏極。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人長江存儲科技有限責任公司,其通訊地址為:430205 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)未來三路88號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

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