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龍圖騰網(wǎng)恭喜中核同創(chuàng)(成都)科技有限公司申請的專利一種射頻感應(yīng)耦合等離子體中和器獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN109979794B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-10發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：201711446538.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/32；該發(fā)明授權(quán)一種射頻感應(yīng)耦合等離子體中和器是由陳慶川;聶軍偉;黃琪;石連天設(shè)計研發(fā)完成，并于2017-12-27向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種射頻感應(yīng)耦合等離子體中和器在說明書摘要公布了：本發(fā)明屬于低溫等離子體技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種射頻感應(yīng)耦合等離子體中和器。本發(fā)明包括用于容納放電等離子體的等離子體放電腔、高壓絕緣氣路裝置、射頻耦合天線、用于收集離子和屏蔽射頻容性耦合的陰極、屏蔽外殼和用于從等離子體放電腔中抽取電子束的陽極，該射頻感應(yīng)耦合等離子體中和器結(jié)構(gòu)一方面可有效屏蔽射頻耦合天線和放電等離子體間的容性耦合，降低射頻容性耦合效應(yīng)對等離子體放電腔內(nèi)壁的濺射，減少放電等離子體中的雜質(zhì)污染，同時也可有效減少射頻感應(yīng)耦合等離子體中和器陶瓷絕緣件上的污染，提高射頻感應(yīng)耦合等離子體中和器的壽命和穩(wěn)定性，具有結(jié)構(gòu)簡單、無電極污染、引出電子束潔凈、壽命長、工作穩(wěn)定、束流強度及能量易控等優(yōu)點。

本發(fā)明授權(quán)一種射頻感應(yīng)耦合等離子體中和器在權(quán)利要求書中公布了：1.一種射頻感應(yīng)耦合等離子體中和器，包括：用于容納放電等離子體的等離子體放電腔1、高壓絕緣氣路裝置2、射頻耦合天線4、用于收集離子和屏蔽射頻容性耦合的陰極3、屏蔽外殼10和用于從等離子體放電腔1中抽取電子束的陽極7，其特征在于：所述等離子體放電腔1為中空結(jié)構(gòu)，其上端設(shè)有進氣孔，下端設(shè)有電子束引出孔，等離子體放電腔1安裝在屏蔽外殼10內(nèi)部，屏蔽外殼10內(nèi)部中間位置固定安裝有固定法蘭12,等離子體放電腔1安裝在固定法蘭12上；等離子體放電腔1上端設(shè)有氣體入口，下端設(shè)有電子束引出口，屏蔽外殼10上端設(shè)置有氣體入口，位置和等離子放電腔上端的氣體入口位置對應(yīng)，屏蔽外殼10上端氣體入口和等離子體放電腔1上端進氣孔之間設(shè)置有氣路，屏蔽外殼10上端氣體入口和等離子體放電腔1上端進氣孔之間的部分的氣路上裝有高壓絕緣氣路裝置2；圓柱形陶瓷等離子放電腔1外壁加工有螺旋形槽，用于安裝射頻耦合天線4，同時也提高了射頻耦合天線4每匝間的絕緣強度，在等離子放電腔1外壁下端的環(huán)形槽處設(shè)置有引線管路，引線管路穿過固定法蘭12后再穿過屏蔽外殼10，使得射頻電源6通過匹配網(wǎng)絡(luò)5與射頻耦合天線4相連；陰極3位于等離子體放電腔1內(nèi)部，在橫切射頻耦合天線4卷繞方向上有一個窄縫，陰極3窄縫處設(shè)有放電觸發(fā)針11，陰極利用與射頻耦合天線的感應(yīng)耦合效應(yīng)，以為觸發(fā)針提供電離氣體起輝的電壓；等離子放電腔1內(nèi)陰極3和位于等離子放電腔1下端的陽極構(gòu)成射頻感應(yīng)耦合等離子體中和器電子束的引出系統(tǒng)，陽極7上開有引出孔，且該引出孔與等離子體放電腔1下端引出孔對正，其中陽極7和陰極3之間通過陽極電源8施加正偏壓，陰極3和地之間通過陰極電源9施加負(fù)偏壓；所述等離子體放電腔1采用低介質(zhì)損耗的絕緣介質(zhì)構(gòu)成；所述陰極3呈筒形。

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