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龍圖騰網恭喜北京北方華創微電子裝備有限公司申請的專利倒片裝置、半導體工藝設備及開關門體的控制方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114551313B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210181637.X，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權倒片裝置、半導體工藝設備及開關門體的控制方法是由蘇冠華;陳志兵;李旭剛;劉愛旭設計研發完成，并于2022-02-25向國家知識產權局提交的專利申請。

本倒片裝置、半導體工藝設備及開關門體的控制方法在說明書摘要公布了：本申請公開了一種倒片裝置、半導體工藝設備及開關門體的控制方法，涉及半導體裝備領域。一種倒片裝置包括腔體、門體、驅動機構、運動軌道和阻尼機構；腔體設有開口；門體可翻轉地設于開口處，門體與腔體轉動連接；驅動機構可轉動連接于腔體，驅動機構包括伺服驅動組件和第一連接件，第一連接件用于將伺服驅動組件與門體轉動連接，伺服驅動組件通過第一連接件驅動門體相對于腔體翻轉；阻尼機構連接門體與腔體，阻尼機構用于施加使門體向遠離開口的方向翻轉的阻力。一種半導體工藝設備，包括上述倒片裝置。一種開關門體的控制方法，應用于上述半導體工藝設備。本申請至少能夠解決翻轉門無法平穩運動影響片盒中晶片位置精度的問題。

本發明授權倒片裝置、半導體工藝設備及開關門體的控制方法在權利要求書中公布了：1.一種倒片裝置，應用于半導體工藝設備，其特征在于，包括：腔體100、門體200、驅動機構300、運動軌道和阻尼機構400；所述腔體100具有用于倒片的傳輸腔，所述腔體100開設有與所述傳輸腔連通的開口110；所述門體200可翻轉地設置于所述開口110處，且所述門體200的靠近下端的區域與所述腔體100的兩側壁轉動連接；所述驅動機構300可擺動地連接于所述腔體100的第一側壁120外，所述驅動機構300包括伺服驅動組件310和第一連接件320，所述運動軌道用于使所述伺服驅動組件310的輸出端沿所述運動軌道的軌跡移動，所述第一連接件320用于將所述伺服驅動組件310的輸出端與所述門體200的靠近下端的區域轉動連接，所述伺服驅動組件310通過所述第一連接件320驅動所述門體200相對于所述腔體100翻轉，所述伺服驅動組件310對門體200的開關速度及位置進行精確控制；所述阻尼機構400連接所述門體200與所述腔體100，且所述阻尼機構400用于對所述門體200施加使所述門體200向遠離所述開口的方向翻轉的阻力。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京北方華創微電子裝備有限公司，其通訊地址為：100176 北京市大興區經濟技術開發區文昌大道8號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。