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龍圖騰網恭喜北京北方華創微電子裝備有限公司申請的專利靜電卡盤氣孔清洗裝置及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116174379B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310252072.4，技術領域涉及：B08B3/02；該發明授權靜電卡盤氣孔清洗裝置及方法是由王印典;郝亮;胡海洋設計研發完成，并于2023-03-10向國家知識產權局提交的專利申請。

本靜電卡盤氣孔清洗裝置及方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種靜電卡盤氣孔清洗裝置及方法，裝置包括：清洗架，清洗架頂部設有平臺，平臺上設有貫穿平臺上下表面的開口；支撐環組件，與開口的邊緣搭接配合，用于將不同尺寸的靜電卡盤支撐在圓孔上方；加壓沖洗裝置，包括沖洗液供給端和沖洗管路，沖洗液供給端用于將沖洗溶液和去離子水以設定壓力壓入沖洗管路中，沖洗管路的一端與沖洗液供給端連接，沖洗管路的另一端與靜電卡盤背面的進氣孔連接。本發明能夠實現提高靜電卡盤氣孔堵塞的清洗效果，提高等離子體刻蝕工藝的穩定性。

本發明授權靜電卡盤氣孔清洗裝置及方法在權利要求書中公布了：1.一種靜電卡盤氣孔清洗裝置，所述氣孔包括位于所述靜電卡盤背面的進氣孔和位于所述靜電卡盤正面的多個出氣孔，所述進氣孔與各個所述出氣孔連通，其特征在于，所述裝置包括：清洗架，所述清洗架頂部設有平臺，所述平臺上設有貫穿所述平臺上下表面的開口；支撐環，所述支撐環與所述開口的邊緣搭接配合，用于將對應尺寸的靜電卡盤正面朝上或背面朝上的支撐在所述開口上方；加壓沖洗裝置，所述加壓沖洗裝置包括沖洗液供給端和沖洗管路，所述沖洗液供給端用于分別將沖洗溶液和去離子水以設定壓力壓入所述沖洗管路中，所述沖洗管路的一端用于與所述沖洗液供給端連接，所述沖洗管路的另一端用于與所述靜電卡盤背面的進氣孔連接；檢測工具，用于在所述靜電卡盤正面朝下放置在所述支撐環上且向所述進氣孔沖入液體時，測量各個所述出氣孔的出水量；和或用于在所述靜電卡盤正面朝上放置在所述支撐環上且向所述進氣孔沖入液體時，測量各個所述出氣孔的出水高度；所述清洗裝置能夠根據所述檢測工具測量的任意兩個出氣孔的單位時間內出水量體積差；和或所述檢測工具測量的所述出氣孔的最高水柱與最低水柱的高度差，判斷所述出氣孔的清洗效果是否滿足設定條件。

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