恭喜華海清科股份有限公司曹自立獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜華海清科股份有限公司申請的專利一種晶圓清洗裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116435220B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310369232.3，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權一種晶圓清洗裝置是由曹自立;李長坤;周靜;王志強設計研發完成，并于2023-04-07向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓清洗裝置在說明書摘要公布了：本發明公開了一種晶圓清洗裝置，包括：箱體、晶圓支撐機構、晶圓刷洗機構和供液組件，所述晶圓支撐機構包括用于承載晶圓并帶動晶圓旋轉的滾輪和安裝座，安裝座用于將滾輪與箱體固定，安裝座和箱體之間設置有密封組件，密封組件包括密封墊、外壓環和內壓環，內壓環將密封墊與安裝座固定，外壓環將密封墊與箱體固定，內壓環位于外壓環的內側。
本發明授權一種晶圓清洗裝置在權利要求書中公布了：1.一種晶圓清洗裝置，其特征在于，包括：箱體、晶圓支撐機構、晶圓刷洗機構和供液組件，所述晶圓支撐機構包括用于承載晶圓并帶動晶圓旋轉的滾輪和安裝座，安裝座用于將滾輪與箱體固定，安裝座和箱體之間設置有密封組件，密封組件包括密封墊、外壓環和內壓環，內壓環將密封墊與安裝座固定，外壓環將密封墊與箱體固定，內壓環位于外壓環的內側；所述外壓環的上部具有擋水結構，所述擋水結構包括從外壓環的外周邊緣向外延伸形成的擋水檐以及擋水檐與箱體之間形成的導水槽。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人華海清科股份有限公司，其通訊地址為：300350 天津市津南區咸水沽鎮聚興道11號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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