買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)恭喜蘇州采奕動(dòng)力科技有限公司申請(qǐng)的專利一種光刻機(jī)光線電磁光閘裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN110750037B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-20發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：201911120572.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權(quán)一種光刻機(jī)光線電磁光閘裝置是由任明鋒設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2019-11-15向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種光刻機(jī)光線電磁光閘裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明揭示了一種光刻機(jī)光線電磁光閘裝置，包括葉板和偏擺驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，偏擺驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括電磁座和傳動(dòng)軸，電磁座包括導(dǎo)磁外筒、線圈及兩端的固定鐵芯，其中一個(gè)鐵芯的外露面設(shè)置有渦卷扭簧座，傳動(dòng)軸一端與渦卷扭簧座相配接、另一端穿過電磁座與葉板相連，傳動(dòng)軸上套接有動(dòng)鐵芯，動(dòng)鐵芯與傳動(dòng)軸之間周向鎖固軸向滑動(dòng)配接，動(dòng)鐵芯的軸向兩端分別設(shè)有傾斜面，任意固定鐵芯設(shè)有的驅(qū)動(dòng)面。本發(fā)明采用電磁傳動(dòng)結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)對(duì)葉板的偏擺驅(qū)動(dòng)，相較傳統(tǒng)地電機(jī)驅(qū)動(dòng)具備響應(yīng)速度快、位置度精確及使用壽命長(zhǎng)的特點(diǎn)。特定螺旋槳結(jié)構(gòu)的動(dòng)鐵芯，具備螺旋扇面，能在限制空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)低功率高轉(zhuǎn)矩，電磁吸力穩(wěn)定可靠，滿足風(fēng)葉偏擺行程需求。

本發(fā)明授權(quán)一種光刻機(jī)光線電磁光閘裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種光刻機(jī)光線電磁光閘裝置，其特征在于：包括葉板和用于驅(qū)動(dòng)所述葉板往復(fù)偏擺的偏擺驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述偏擺驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括電磁座和傳動(dòng)軸，其中，所述電磁座包括具備中空腔室的導(dǎo)磁外筒，所述中空腔室內(nèi)設(shè)有用于電磁轉(zhuǎn)換的線圈，中空腔室的兩端分別設(shè)有固定鐵芯，任意所述固定鐵芯設(shè)有軸承，并且其中一個(gè)所述固定鐵芯的外露面設(shè)置有渦卷扭簧座，所述傳動(dòng)軸一端與所述渦卷扭簧座相配接、另一端穿過所述電磁座與所述葉板相連，傳動(dòng)軸與任意所述軸承相旋轉(zhuǎn)活動(dòng)配接，所述傳動(dòng)軸上套接有位于所述中空腔室內(nèi)的動(dòng)鐵芯，所述動(dòng)鐵芯與所述傳動(dòng)軸之間周向鎖固軸向滑動(dòng)配接，所述動(dòng)鐵芯的軸向兩端分別設(shè)有傾斜面，任意所述固定鐵芯設(shè)有朝向所述動(dòng)鐵芯的用于驅(qū)動(dòng)所述動(dòng)鐵芯旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)面，并且兩個(gè)所述固定鐵芯的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)方向同向；固定鐵芯與線圈的線軸之間具備對(duì)位結(jié)構(gòu)，該對(duì)位結(jié)構(gòu)為凸點(diǎn)與凹點(diǎn)的配合。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人蘇州采奕動(dòng)力科技有限公司，其通訊地址為：215300 江蘇省昆山市千燈鎮(zhèn)石浦仁成路57號(hào)2號(hào)房；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。