買(mǎi)專利賣(mài)專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)恭喜圓益IPS股份有限公司申請(qǐng)的專利感應(yīng)耦合等離子體處理裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115312367B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-20發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202111494169.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/32；該發(fā)明授權(quán)感應(yīng)耦合等離子體處理裝置是由金禹賢;劉光鐘;盧德熙;奇洞鉉;金榮必;金正洙;韓昌勛;金大一;俞道亨設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-12-08向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本感應(yīng)耦合等離子體處理裝置在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)一種感應(yīng)耦合等離子體處理裝置，包括：腔室主體，平面形狀具有直角四邊形形狀，并且在上側(cè)形成有開(kāi)口部；窗口組件，包括覆蓋所述開(kāi)口部以與所述腔室主體一同形成處理空間的一個(gè)以上的窗口和支撐所述窗口的支撐架；基板支撐部，設(shè)置在所述腔室主體，并支撐直角四邊形的基板；氣體噴射部，向所述處理空間噴射氣體；天線部，在所述窗口組件的上部中設(shè)置在與所述基板的直角四邊形形狀相對(duì)應(yīng)的基準(zhǔn)直角四邊形區(qū)域，以在所述處理空間形成感應(yīng)電場(chǎng)。所述天線部包括：4個(gè)角落天線組，與所述基準(zhǔn)直角四邊形區(qū)域的頂點(diǎn)相鄰配置，以控制角落部分的等離子體密度；側(cè)方天線組，與所述基準(zhǔn)直角四邊形區(qū)域的邊及所述4個(gè)角落天線組間隔間距配置。

本發(fā)明授權(quán)感應(yīng)耦合等離子體處理裝置在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種感應(yīng)耦合等離子體處理裝置，包括：腔室主體100，平面形狀具有直角四邊形形狀，并且在上側(cè)形成有開(kāi)口部；窗口組件200，包括一個(gè)以上的窗口210和支撐架220，所述一個(gè)以上的窗口210覆蓋所述開(kāi)口部以與所述腔室主體100一同形成處理空間S，所述支撐架220支撐所述窗口210；基板支撐部300，設(shè)置在所述腔室主體100，并支撐直角四邊形的基板10；氣體噴射部，向所述處理空間S噴射氣體；天線部500，在所述窗口組件200的上部中設(shè)置在與所述基板10的直角四邊形形狀相對(duì)應(yīng)的基準(zhǔn)直角四邊形區(qū)域，以在所述處理空間S形成感應(yīng)電場(chǎng)；其中，所述天線部500包括：4個(gè)角落天線組700，與所述基準(zhǔn)直角四邊形區(qū)域的頂點(diǎn)相鄰配置，以控制角落部分的等離子體密度；側(cè)方天線組510，與所述基準(zhǔn)直角四邊形區(qū)域的邊及所述4個(gè)角落天線組700間隔間距配置，從上側(cè)俯視所述側(cè)方天線組510時(shí)，在所述基板10的直角四邊形中除了頂點(diǎn)以外的邊中具有一個(gè)以上的直線部分，在與所述角落部分相向的部分中具有一個(gè)以上的側(cè)方斜線部分，所述角落天線組700在與所述側(cè)方天線組510相鄰的部分中具有與所述側(cè)方天線組510的所述側(cè)方斜線部分相互平行的角落斜線部分，在所述角落斜線部分和所述側(cè)方斜線部分中的電流方向相同。

如需購(gòu)買(mǎi)、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人圓益IPS股份有限公司，其通訊地址為：韓國(guó)京畿道平澤市振威面振威產(chǎn)團(tuán)路75；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。