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龍圖騰網(wǎng)恭喜紐富來科技股份有限公司申請的專利數(shù)據(jù)生成方法、帶電粒子束照射裝置以及計算機可讀取的記錄介質(zhì)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115938898B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-20發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202210950737.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/317；該發(fā)明授權(quán)數(shù)據(jù)生成方法、帶電粒子束照射裝置以及計算機可讀取的記錄介質(zhì)是由安井健一設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-08-09向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本數(shù)據(jù)生成方法、帶電粒子束照射裝置以及計算機可讀取的記錄介質(zhì)在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種數(shù)據(jù)生成方法、帶電粒子束照射裝置以及計算機可讀取的記錄介質(zhì)，能夠高速且準(zhǔn)確地進行包含曲線的圖形的像素覆蓋率計算。本發(fā)明的一個方式的數(shù)據(jù)生成方法將表現(xiàn)描繪圖案的形狀且由在規(guī)定方向上依次配置的多個控制點定義的參數(shù)曲線在極值以及拐點的位置分割而生成多個參數(shù)要素，對于各參數(shù)要素，從上述多個控制點中提取一部分控制點，將提取出的控制點在上述規(guī)定方向上依次連結(jié)而生成多邊形，計算以規(guī)定尺寸分割帶電粒子束的照射對象而得的多個矩形的劃分區(qū)域各自的基于上述多邊形的覆蓋率，求出上述多個參數(shù)要素與上述多個劃分區(qū)域的四邊的交點，計算上述描繪圖案的周緣部的劃分區(qū)域的覆蓋率。

本發(fā)明授權(quán)數(shù)據(jù)生成方法、帶電粒子束照射裝置以及計算機可讀取的記錄介質(zhì)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種帶電粒子束照射方法，其特征在于，將表現(xiàn)描繪圖案的形狀且由在規(guī)定方向上依次配置的多個控制點定義的參數(shù)曲線在極值以及拐點的位置分割而生成多個參數(shù)要素，對于各參數(shù)要素，從上述多個控制點中提取一部分控制點，將提取出的控制點在上述規(guī)定方向上依次連結(jié)而生成多邊形，計算以規(guī)定尺寸分割帶電粒子束的照射對象而得的多個矩形的劃分區(qū)域各自的基于上述多邊形的覆蓋率，求出上述多個參數(shù)要素與上述多個矩形的劃分區(qū)域的四邊的交點，計算上述描繪圖案的周緣部的劃分區(qū)域的覆蓋率，基于上述覆蓋率計算向各劃分區(qū)域的照射量，控制帶電粒子束照射裝置而以計算出的上述照射量向上述照射對象照射上述帶電粒子束，在該照射對象上描繪圖案。

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