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龍圖騰網恭喜江西乾照光電有限公司申請的專利沉積設備及沉積方法、沉積設備中溫度檢測點的確定方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111485284B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010455965.5，技術領域涉及：C30B25/10；該發明授權沉積設備及沉積方法、沉積設備中溫度檢測點的確定方法是由霍麗艷;滕龍;吳洪浩;謝祥彬;劉兆設計研發完成，并于2020-05-26向國家知識產權局提交的專利申請。

本沉積設備及沉積方法、沉積設備中溫度檢測點的確定方法在說明書摘要公布了：本申請實施例提供了一種沉積設備及沉積方法、以及沉積設備中溫度檢測點的確定方法，該沉積設備包括：殼體、位于殼體的沉積腔室內加熱裝置、載盤以及位于殼體外的溫度檢測裝置，其中，加熱裝置用于給載盤進行加熱，以通過載盤給襯底加熱，沉積腔室沿預設方向劃分成M個嵌套分布的溫場，溫度檢測裝置包括多個溫度檢測元件，溫度檢測元件與溫場一一對應，用于檢測其對應溫場的溫度，從而可以通過獲取各個溫度檢測元件檢測到的與其對應溫場的溫度，控制加熱裝置，使得各溫場的溫度相同或者在一定的誤差范圍內，以提高M個溫場的溫度均勻性，進而提高LED中外延結構生長過程中的波長的均勻性。

本發明授權沉積設備及沉積方法、沉積設備中溫度檢測點的確定方法在權利要求書中公布了：1.一種沉積設備，其特征在于，包括：殼體，所述殼體具有沉積腔室；位于所述沉積腔室內的加熱裝置；位于所述加熱裝置上方的載盤，所述載盤背離所述加熱裝置一側表面用于放置襯底，所述加熱裝置用于給所述載盤進行加熱，以通過所述載盤給所述襯底加熱；位于所述殼體外的溫度檢測裝置，所述溫度檢測裝置位于所述載盤背離所述加熱裝置一側，用于檢測所述沉積腔室內的溫度；所述殼體朝向溫度檢測裝置一側設置有沿所述載盤半徑方向延伸的滑槽，溫度檢測元件通過固定裝置固定在所述滑槽內；其中，所述沉積腔室沿預設方向劃分成M個溫場，所述M個溫場嵌套分布，M為大于1的整數；所述溫度檢測裝置包括多個溫度檢測元件，所述溫度檢測元件與所述溫場一一對應，用于檢測其對應溫場的溫度；所述載盤的直徑為Xmm，第1溫度檢測元件到所述載盤中心的距離A1取值范圍為0.04X～0.1X，包括端點值；第n溫度檢測元件到所述載盤中心的距離An取值范圍為1.5nA1～4nA1，包括端點值；所述第n溫度檢測元件到所述載盤中心的距離An大于第n-1溫度檢測元件到所述載盤中心的距離An-1，n為大于1，且不大于M的整數。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人江西乾照光電有限公司，其通訊地址為：330103 江西省南昌市新建區望城新區寧遠大街1288號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。