恭喜上海諳邦半導體設備有限公司邱勇獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網恭喜上海諳邦半導體設備有限公司申請的專利一種等離子體處理裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112509903B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011491408.5，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權一種等離子體處理裝置是由邱勇;吳堃;張鵬兵;陳世名設計研發完成，并于2020-12-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種等離子體處理裝置在說明書摘要公布了：一種等離子體處理裝置，包括：反應腔主體，所述反應腔主體的頂部設置有等離子體通道板，所述等離子體通道板包括：等離子體通道板主體；環繞所述等離子體通道板主體的側部的通道板定位件；位于所述通道板定位件和所述反應腔主體的頂壁之間的導電導熱環；位于所述等離子體通道板主體上方的等離子體發生單元。所述等離子體處理裝置能夠避免等離子體通道板在高溫條件下損傷以及等離子體通道板接地不良的問題。
本發明授權一種等離子體處理裝置在權利要求書中公布了：1.一種等離子體處理裝置，其特征在于，包括：反應腔主體，所述反應腔主體的頂部設置有等離子體通道板，所述等離子體通道板包括：等離子體通道板主體；環繞所述等離子體通道板主體的側部的通道板定位件；位于所述通道板定位件和所述反應腔主體的頂壁之間的導電導熱環，所述導電導熱環的表面硬度小于所述通道板定位件的硬度；位于所述等離子體通道板主體上方的等離子體發生單元；所述導電導熱環的材料為石墨。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海諳邦半導體設備有限公司，其通訊地址為：201306 上海市浦東新區環湖西二路888號C樓；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號