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龍圖騰網(wǎng)恭喜深圳市森美協(xié)爾科技有限公司申請的專利晶圓測試設(shè)備及測試方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115020270B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202110760954.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)晶圓測試設(shè)備及測試方法是由劉世文;劉藝;陳亮設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-07-06向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本晶圓測試設(shè)備及測試方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種提高晶圓測試精度的晶圓測試設(shè)備及測試方法，包括設(shè)備本體和設(shè)置在其上的測試機(jī)，以及嵌進(jìn)所述設(shè)備本體頂部內(nèi)倒置的探針卡，所述探針卡與所述測試機(jī)電連接，所述設(shè)備本體包括：框架；第一移動平臺，設(shè)置在所述框架內(nèi)的下部；下顯微鏡視覺系統(tǒng)和晶圓，均設(shè)置在所述第一移動平臺上，所述下顯微鏡視覺系統(tǒng)用于獲取所述探針卡的圖像，所述第一移動平臺可驅(qū)動所述下顯微鏡視覺系統(tǒng)和晶圓沿X、Y、Z三個方向直線運(yùn)動；第二移動平臺，設(shè)置在所述框架內(nèi)的上部，上顯微鏡視覺系統(tǒng)倒置在所述第二移動平臺上，用于獲取其下方所述晶圓的圖像，所述第二移動平臺可驅(qū)動所述上顯微鏡視覺系統(tǒng)沿Y軸或X軸方向直線移動。

本發(fā)明授權(quán)晶圓測試設(shè)備及測試方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓測試設(shè)備，包括設(shè)備本體、于所述設(shè)備本體的上面設(shè)置的測試機(jī)，以及嵌進(jìn)所述設(shè)備本體的頂部內(nèi)倒置的探針卡，所述探針卡與所述測試機(jī)電連接，其特征在于，所述設(shè)備本體包括：第一移動平臺，在水平方向和垂直方向上可移動的下顯微鏡視覺系統(tǒng)和用于承載晶圓的承片臺，所述下顯微鏡視覺系統(tǒng)和所述承片臺均設(shè)置在所述第一移動平臺上，所述第一移動平臺可驅(qū)動所述下顯微鏡視覺系統(tǒng)和用于承載晶圓的承片臺沿X軸和或Y軸方向，以及Z軸方向作直線運(yùn)動，以及在水平方向上可移動至所述探針卡下方的上顯微鏡視覺系統(tǒng)，其中，所述下顯微鏡視覺系統(tǒng)被構(gòu)造成能夠獲取所述探針卡圖像中探針卡針尖在所述第一移動平臺的坐標(biāo)系中的坐標(biāo)x3,y3,z3，所述上顯微鏡視覺系統(tǒng)被構(gòu)造成能夠獲取所述晶圓圖像中焊盤測試點(diǎn)在所述第一移動平臺的坐標(biāo)系中的坐標(biāo)x1,y1,z1，所述第一移動平臺在檢測時的移動距離根據(jù)所述坐標(biāo)x1,y1,z1、x3,y3,z3、以及在校核所述上顯微鏡視覺系統(tǒng)和下顯微鏡視覺系統(tǒng)時所獲得的所述下顯微鏡視覺系統(tǒng)在所述第一移動平臺的坐標(biāo)系中的坐標(biāo)x2,y2,z2確定。

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