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龍圖騰網(wǎng)恭喜惠然科技有限公司申請(qǐng)的專利用于掃描電子顯微鏡中碰撞監(jiān)測(cè)的方法、設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119151995B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202411614473.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06T7/246；該發(fā)明授權(quán)用于掃描電子顯微鏡中碰撞監(jiān)測(cè)的方法、設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)是由金憲偉;許濤;焦揚(yáng)設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-11-13向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本用于掃描電子顯微鏡中碰撞監(jiān)測(cè)的方法、設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)在說明書摘要公布了：本申請(qǐng)涉及掃描電子顯微鏡技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種用于掃描電子顯微鏡中碰撞監(jiān)測(cè)的方法、設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)。所述方法包括：采集掃描電子顯微鏡的樣品倉(cāng)內(nèi)未放置樣品臺(tái)對(duì)應(yīng)的參考幀圖像和放置樣品臺(tái)對(duì)應(yīng)的圖像數(shù)據(jù)流；對(duì)所述參考幀圖像和所述圖像數(shù)據(jù)流中的初始幀圖像進(jìn)行幀間差分，以提取放置樣品臺(tái)的初始掩碼；基于所述初始掩碼和所述圖像數(shù)據(jù)流中的歷史幀圖像信息，使用碰撞監(jiān)測(cè)模型提取當(dāng)前幀中放置樣品臺(tái)的目標(biāo)掩碼；以及根據(jù)所述目標(biāo)掩碼和所述目標(biāo)極靴之間的距離進(jìn)行掃描電子顯微鏡中的碰撞監(jiān)測(cè)。利用本申請(qǐng)的方案，可以確定準(zhǔn)確的運(yùn)動(dòng)目標(biāo)，提高碰撞檢測(cè)的精度。

本發(fā)明授權(quán)用于掃描電子顯微鏡中碰撞監(jiān)測(cè)的方法、設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于掃描電子顯微鏡中碰撞監(jiān)測(cè)的方法，其特征在于，包括：采集掃描電子顯微鏡的樣品倉(cāng)內(nèi)未放置樣品臺(tái)對(duì)應(yīng)的參考幀圖像和放置樣品臺(tái)對(duì)應(yīng)的圖像數(shù)據(jù)流；對(duì)所述參考幀圖像和所述圖像數(shù)據(jù)流中的初始幀圖像進(jìn)行幀間差分，以提取放置樣品臺(tái)的初始掩碼；基于所述初始掩碼和所述圖像數(shù)據(jù)流中的歷史幀圖像信息，使用碰撞監(jiān)測(cè)模型提取當(dāng)前幀中放置樣品臺(tái)的目標(biāo)掩碼；以及，根據(jù)所述目標(biāo)掩碼和目標(biāo)極靴之間的距離進(jìn)行掃描電子顯微鏡中的碰撞監(jiān)測(cè)，其中對(duì)所述參考幀圖像和所述圖像數(shù)據(jù)流中的初始幀圖像進(jìn)行幀間差分，以提取放置樣品臺(tái)的初始掩碼包括：對(duì)所述參考幀圖像和所述圖像數(shù)據(jù)流中的初始幀圖像進(jìn)行幀間差分，以確定運(yùn)動(dòng)像素掩碼；基于所述運(yùn)動(dòng)像素掩碼確定目標(biāo)連通域；以及，根據(jù)所述目標(biāo)連通域的輪廓計(jì)算外輪廓點(diǎn)的凸包，并填充所述凸包來提取放置樣品臺(tái)的所述初始掩碼；其中所述碰撞監(jiān)測(cè)模型包括編碼器、融合模塊和解碼器，并且基于所述初始掩碼和所述圖像數(shù)據(jù)流中的歷史幀圖像信息，使用碰撞監(jiān)測(cè)模型提取當(dāng)前幀中放置樣品臺(tái)的目標(biāo)掩碼包括:以所述初始掩碼作為提示信息，使用所述編碼器提取當(dāng)前幀圖像的掩碼特征；使用所述融合模塊將所述掩碼特征和所述歷史幀圖像信息進(jìn)行融合，獲得融合結(jié)果；以及，基于所述融合結(jié)果，使用所述解碼器進(jìn)行解碼操作，以提取當(dāng)前幀中放置樣品臺(tái)的所述目標(biāo)掩碼。

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