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龍圖騰網恭喜思恩半導體科技(蘇州)有限公司申請的專利一種晶圓清洗機械臂運動穩定性自適應調節系統及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119347800B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411930123.5，技術領域涉及：B25J9/16；該發明授權一種晶圓清洗機械臂運動穩定性自適應調節系統及方法是由蔡永禮;葉曲波;王文和設計研發完成，并于2024-12-26向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶圓清洗機械臂運動穩定性自適應調節系統及方法在說明書摘要公布了：本發明涉及半導體技術領域，具體為一種晶圓清洗機械臂運動穩定性自適應調節系統及方法，方法包括：采集機械臂運動過程中的關節速度、振動加速度和末端受力數據，構建數據集；利用頻譜分析和傅里葉變換對數據進行特征提取，構建穩定性評估策略，實時判斷機械臂運動穩定性；當檢測到不穩定狀態時，使用預訓練的聚類支持向量機模型進行故障原因診斷；根據診斷結果，動態調整機械臂PID控制器增益值和關節阻尼補償系數，生成新的控制律并應用于機械臂；控制調整后，持續監測穩定性，直至機械臂恢復穩定。本發明方法實現了機械臂穩定性的自動評估、故障診斷和控制優化，提高了晶圓清洗設備的可靠性和效率。

本發明授權一種晶圓清洗機械臂運動穩定性自適應調節系統及方法在權利要求書中公布了：1.一種晶圓清洗機械臂運動穩定性自適應調節方法，其特征在于，包括：采集晶圓清洗機械臂的工作數據，包括機械臂的關節速度、振動數據以及末端執行器受力數據；采集機械臂的振動數據，設在空間坐標系中的三個方向的加速度分量為，則加速度采樣值為： ；其中，為采樣時間間隔；采集機械臂的末端執行器受力數據，測量機械臂末端所受的三維力，設三維力為，則： ；其中，、和分別是三維空間中方向的受力向量；對采集到的工作數據進行特征分析，構建機械臂穩定性評估策略，利用頻譜分析和傅里葉變換算法，對機械臂的運動狀態進行實時評估，判斷機械臂當前運動是否處于穩定狀態；分別設定機械臂關節速度、振動數據，以及末端受力的穩定性評估閾值，設定機械臂關節速度穩定性閾值為，振動數據穩定性閾值為以及末端受力的穩定性閾值為；根據設定的閾值，實時判斷當前機械臂運動是否穩定： ；若以上三個條件同時滿足，則認為當前機械臂運動處于穩定狀態，否則視機械臂為不穩定狀態；構建并訓練機械臂問題檢測模型，當機械臂處于不穩定狀態時，通過機械臂問題檢測模型識別機械臂不穩定的故障原因；構建動態調整機械臂的控制算法，根據機械臂不穩定的故障原因對機械臂進行調節，包括調整機械臂PID控制器的增益值以及調整機械臂關節阻尼補償；在對機械臂實施控制調整后，持續監測機械臂是否處于穩定狀態，若機械臂不處于穩定狀態，則重新對機械臂進行調整，直到機械臂處于穩定狀態。

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