恭喜江南大學劉禹獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜江南大學申請的專利用于低應力MEMS封裝的粘接結構、封裝結構及其制造方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN110723713B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-17發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201911139838.8,技術領域涉及:B81B7/00;該發明授權用于低應力MEMS封裝的粘接結構、封裝結構及其制造方法是由劉禹;唐彬;商二威;楊杰;陳彥秋設計研發完成,并于2019-11-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于低應力MEMS封裝的粘接結構、封裝結構及其制造方法在說明書摘要公布了:本發明涉及低應力MEMS封裝技術領域,尤其涉及一種用于低應力MEMS封裝的粘接結構、封裝結構及其制造方法。本發明涉及低應力MEMS封裝技術領域,尤其涉及一種針對慣性傳感器的低應力MEMS封裝的三維封裝粘接結構和封裝結構。所述用于低應力MEMS封裝結構包括MEMS芯片和MEMS基座,所述MEMS芯片通過如本發明第一方面所述的用于低應力MEMS封裝的粘接結構粘貼在所述MEMS基座上。所述用于低應力MEMS封裝的粘接結構和封裝結構具有較好的應力隔離效果。
本發明授權用于低應力MEMS封裝的粘接結構、封裝結構及其制造方法在權利要求書中公布了:1.一種用于低應力MEMS封裝的粘接結構,其特征在于,所述用于低應力MEMS封裝的粘接結構包括:從下至上依次交替疊置的應力隔離A層(100)和應力隔離B層(200);所述應力隔離A層(100)和應力隔離B層(200)均分別包括至少一層的應力隔離層;所述應力隔離層包括若干根呈陣列式排布的應力隔離條(300); 所述應力隔離A層(100)包括應力隔離條(300)排布一致的第一應力隔離層(410)和第二應力隔離層(420),所述應力隔離B層(200)包括應力隔離條(300)排布一致的第三應力隔離層(430)和第四應力隔離層(440);第一應力隔離層(410)和第二應力隔離層(420)中的應力隔離條(300)排布一致;第三應力隔離層(430)和第四應力隔離層(440)中的應力隔離條(300)排布一致且第一應力隔離層(410)和第二應力隔離層(420)中的應力隔離條(300)交叉于第三應力隔離層(430)和第四應力隔離層(440)中的應力隔離條(300); 所述應力隔離條(300)的寬度為50~~150μm,應力隔離條(300)的間距為100~~500μm; 所述應力隔離條(300)的熱膨脹系數為1×10-6~~1×10-3[1K]。
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