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龍圖騰網(wǎng)恭喜武漢工程大學(xué)申請的專利一種適用于刻蝕機(jī)零部件的Y₂O₃-BZO復(fù)合涂層的制備方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119663213B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510183071.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C14/35；該發(fā)明授權(quán)一種適用于刻蝕機(jī)零部件的Y₂O₃-BZO復(fù)合涂層的制備方法是由趙洪陽;王世奧;周焱文;楊思捷;付秋明;陶洪;馬志斌設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-02-19向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種適用于刻蝕機(jī)零部件的Y₂O₃-BZO復(fù)合涂層的制備方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種適用于刻蝕機(jī)零部件的Y2O3?BZO復(fù)合涂層的制備方法，包括以下步驟：S1、取襯底進(jìn)行清洗，吹干，UV光清洗機(jī)二次清潔；S2、將步驟S1中襯底置于磁控濺射鍍膜機(jī)內(nèi)，邊抽真空邊加熱，達(dá)到本底真空后通入氬氣，對Y2O3和BZO靶材進(jìn)行預(yù)濺射；S3、預(yù)濺射完成后打開擋板，調(diào)節(jié)腔體氣壓，正式濺射開始，正式濺射采用交替濺射形式分別對Y2O3和BZO靶材進(jìn)行濺射形成堆疊復(fù)合涂層，濺射完畢后取出襯底；S4、將步驟S3中的襯底進(jìn)行真空退火，自然降溫，即得Y2O3?BZO堆疊復(fù)合涂層。改復(fù)合涂層采取交替濺射形式形成堆疊復(fù)合涂層，具備良好的耐刻蝕性能，能大幅提高刻蝕機(jī)的使用壽命，減少對晶圓造成的污染。

本發(fā)明授權(quán)一種適用于刻蝕機(jī)零部件的Y₂O₃-BZO復(fù)合涂層的制備方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種適用于刻蝕機(jī)零部件的Y2O3-BZO復(fù)合涂層的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：S1、取襯底進(jìn)行清洗，吹干，UV光清洗機(jī)二次清潔；S2、將步驟S1中襯底置于磁控濺射鍍膜機(jī)內(nèi)，邊抽真空邊加熱，達(dá)到本底真空后通入氬氣，對Y2O3和BZO靶材進(jìn)行預(yù)濺射；S3、預(yù)濺射完成后打開擋板，調(diào)節(jié)腔體氣壓，正式濺射開始，正式濺射采用交替濺射形式分別對Y2O3和BZO靶材進(jìn)行濺射形成堆疊復(fù)合涂層，濺射完畢后取出襯底；S4、將步驟S3中的襯底進(jìn)行真空退火，自然降溫，即得Y2O3-BZO堆疊復(fù)合涂層；步驟S2中預(yù)濺射時(shí)Y2O3靶材的濺射功率為160~200W，BZO靶材的濺射功率為40~80W；預(yù)濺射時(shí)間為5~15min；步驟S3中正式濺射時(shí)腔體氣壓為0.2~0.6Pa，正式濺射功率與預(yù)濺射相同，正式濺射總時(shí)間為200~300min；堆疊復(fù)合涂層層數(shù)為4~24層，厚度為400~600nm。

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