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龍圖騰網(wǎng)恭喜藍河科技(紹興)有限公司申請的專利設有旋轉(zhuǎn)基座的氣相生長設備獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予，授權公告號為：CN119753641B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-05-16發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202510258672.0，技術領域涉及：C23C16/458；該發(fā)明授權設有旋轉(zhuǎn)基座的氣相生長設備是由徐春陽;張志明;顏邦純;邢志剛;張偉設計研發(fā)完成，并于2025-03-06向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。

本設有旋轉(zhuǎn)基座的氣相生長設備在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種設有旋轉(zhuǎn)基座的氣相生長設備，氣相生長設備還包括工藝腔室、由內(nèi)向外依次活動套設的載體轉(zhuǎn)軸和勻熱轉(zhuǎn)動軸，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動組件，第一加熱裝置和勻熱裝置。載體轉(zhuǎn)軸和勻熱轉(zhuǎn)動軸分別連接旋轉(zhuǎn)基座和勻熱裝置，勻熱裝置圍繞載體轉(zhuǎn)軸設于旋轉(zhuǎn)基座和第一加熱裝置之間，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動組件頂部動密封設于工藝腔室，頂面邊部連接勻熱轉(zhuǎn)動軸以驅(qū)動勻熱轉(zhuǎn)動軸能夠相對旋轉(zhuǎn)基座旋轉(zhuǎn)，載體轉(zhuǎn)軸貫穿勻熱轉(zhuǎn)動軸后設于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動組件頂面中部，以在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動組件帶動下使旋轉(zhuǎn)基座相對勻熱裝置轉(zhuǎn)動，從而不僅能夠?qū)图訜崞髦g的溫場進行獨立的勻熱，并能夠根據(jù)旋轉(zhuǎn)基座的轉(zhuǎn)速情況選擇進行勻熱與否以及勻熱的程度，有利于提高襯底表面的溫度的均勻性。

本發(fā)明授權設有旋轉(zhuǎn)基座的氣相生長設備在權利要求書中公布了：1.一種設有旋轉(zhuǎn)基座的氣相生長設備，其特征在于，包括工藝腔室100、旋轉(zhuǎn)裝置，以及設于所述工藝腔室100內(nèi)的用于承載襯底的旋轉(zhuǎn)基座110、第一加熱裝置120和勻熱裝置130；所述第一加熱裝置120設于所述旋轉(zhuǎn)基座110和所述工藝腔室100的底壁之間，以提供熱量；所述旋轉(zhuǎn)裝置包括由內(nèi)向外依次活動套設的載體轉(zhuǎn)軸310和勻熱轉(zhuǎn)動軸320，分別連接所述旋轉(zhuǎn)基座110和所述勻熱裝置130，所述勻熱裝置130圍繞所述載體轉(zhuǎn)軸310設于所述旋轉(zhuǎn)基座110和所述第一加熱裝置120之間；所述旋轉(zhuǎn)裝置包括旋轉(zhuǎn)驅(qū)動組件400，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動組件400頂部動密封設于所述工藝腔室100，頂面邊部連接所述勻熱轉(zhuǎn)動軸320以驅(qū)動所述勻熱轉(zhuǎn)動軸320能夠帶動所述勻熱裝置130相對所述旋轉(zhuǎn)基座110旋轉(zhuǎn)，所述載體轉(zhuǎn)軸310貫穿所述勻熱轉(zhuǎn)動軸320后設于所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動組件400頂面中部，以在所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動組件400帶動下使所述旋轉(zhuǎn)基座110相對所述勻熱裝置130轉(zhuǎn)動。

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