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龍圖騰網恭喜中北大學申請的專利一種基于原子力顯微鏡的光路集成結構獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111781401B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010743487.8，技術領域涉及：G01Q60/24；該發明授權一種基于原子力顯微鏡的光路集成結構是由李克武;鄧祎昕;李元振;許濤;溫斐旻設計研發完成，并于2020-07-29向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種基于原子力顯微鏡的光路集成結構在說明書摘要公布了：一種基于原子力顯微鏡的光路集成結構，包括：基板，用于提供支撐基礎；載物臺組件，設置在基板上用于放置待測物；激光發生組件，設置在基板上用于發出激光束；第一反射組件，設置在所述基板上用于將激光發生組件產生的激光束反射到載物臺組件；第二反射組件，設置在所述基板上用于將載物臺組件反射回來的激光束反射到探測器單元；探測器單元，設置在所述基板上用于接收第二反射組件反射來的激光束并感應激光束的落點位置。本發明的有益效果在于，本發明的結構通過雙反射鏡精準定位，定位精度可達納米級，載物臺組件和探針調節器可實現對探針的移動控制更加細微精確，省去大量光路調節時間，使得實驗效率得到提升。

本發明授權一種基于原子力顯微鏡的光路集成結構在權利要求書中公布了：1.一種基于原子力顯微鏡的光路集成結構，其特征在于，包括：基板1，用于提供支撐基礎；載物臺組件，設置在基板1上用于放置待測物；激光發生組件8，設置在基板1上用于發出激光束；第一反射組件，設置在所述基板1上用于將激光發生組件8產生的激光束反射到載物臺組件；第二反射組件，設置在所述基板1上用于將載物臺組件反射回來的激光束反射到探測器單元14；探測器單元14，設置在所述基板1上用于接收第二反射組件反射來的激光束并感應激光束的落點位置；所述載物臺組件包括：基座2、電機3、螺紋推進桿4、管狀壓電掃描器5、固定滑塊31、載物片6、探針32；所述固定滑塊31滑動設置在所述基座2內，所述電機3設置在所述基座2一端，所述固定滑塊31上設置有螺紋孔，所述螺紋推進桿4一端與所述電機3的輸出端連接，所述螺紋推進桿4另一端與所述固定滑塊31的螺紋孔配合，所述固定滑塊31上設置有固定板30，所述管狀壓電掃描器5設置在固定板30上，所述管狀壓電掃描器5上遠離螺紋推進桿4一端設置所述載物片6，所述載物片6上設置所述探針32；所述探針32通過探針調節器15固定于載物片6上，所述探針調節器15包括：探針座33、底座40、齒輪組和調節旋鈕，所述探針座33用于固定探針32，所述底座40固定設置在所述載物片6一端，所述探針座33設置在所述底座40上，所述底座40內靠近探針座33一側開設有滑槽36，所述探針座33靠近底座40一側設置有伸入滑槽36內的限位滑塊35，所述齒輪組設置在所述底座40內并且一端外露，所述探針座33靠近底座40一側設置設有凸齒34，所述凸齒34與齒輪組嚙合，所述調節旋鈕設置在所述底座40外部并與所述齒輪組另一端連接；所述載物臺組件設置在所述基板1上表面的一側，所述激光發生組件8、第一反射組件、第二反射組件和探測器單元14設置在所述基板1上表面的另一側，所述第一反射組件和第二反射組件設置在所述激光發生組件8和探測器單元14之間，所述第一反射組件靠近所述激光發生組件8設置，所述第二反射組件靠近所述探測器單元14設置。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中北大學，其通訊地址為：030051 山西省太原市學院路3號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。