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龍圖騰網(wǎng)恭喜中芯集成電路(寧波)有限公司上海分公司申請(qǐng)的專利薄膜表聲波諧振器及其制造方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114513180B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202011280224.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H03H3/02；該發(fā)明授權(quán)薄膜表聲波諧振器及其制造方法是由黃河;羅海龍;李偉設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-11-16向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本薄膜表聲波諧振器及其制造方法在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種薄膜表聲波諧振器及其制造方法，其中，薄膜表聲波諧振器包括：具有多個(gè)第一叉指的第一叉指電極、具有多個(gè)第二叉指的第二叉指電極，第一叉指與第二叉指間隔設(shè)置；第一連接線，至少位于第一叉指的其中一端，與第一叉指電連接；第二連接線，至少位于第二叉指的其中一端，與第二叉指電連接；第一連接線與第一叉指之間具有第一間隙，第一連接線與第一叉指通過(guò)跨越第一間隙的第一互連電極連接；和或，第二連接線與第二叉指之間具有第二間隙，第二連接線與第二叉指通過(guò)跨越第二間隙的第二互連電極連接。本發(fā)明將叉指與相應(yīng)連接線通過(guò)相應(yīng)間隙隔開(kāi)，以降低叉指之外的金屬結(jié)構(gòu)對(duì)叉指的振動(dòng)阻礙，同時(shí)避免對(duì)叉指端部的表面聲波造成擾動(dòng)。

本發(fā)明授權(quán)薄膜表聲波諧振器及其制造方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種薄膜表聲波諧振器，其特征在于，包括：具有多個(gè)第一叉指的第一叉指電極、具有多個(gè)第二叉指的第二叉指電極，所述第一叉指與所述第二叉指間隔設(shè)置；第一連接線，至少位于所述第一叉指的其中一端，與所述第一叉指電連接；第二連接線，至少位于所述第二叉指的其中一端，與所述第二叉指電連接；所述第一連接線與所述第一叉指之間具有第一間隙，所述第一連接線與所述第一叉指通過(guò)跨越第一間隙的第一互連電極連接；和或，所述第二連接線與所述第二叉指之間具有第二間隙，所述第二連接線與所述第二叉指通過(guò)跨越第二間隙的第二互連電極連接。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人中芯集成電路(寧波)有限公司上海分公司，其通訊地址為：201210 上海市浦東新區(qū)中國(guó)(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蔡倫路85弄95號(hào)1幢3樓C區(qū)309；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。