恭喜中芯集成電路(寧波)有限公司上海分公司黃河獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜中芯集成電路(寧波)有限公司上海分公司申請的專利薄膜表聲波諧振器及其制造方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114513180B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202011280224.4,技術領域涉及:H03H3/02;該發明授權薄膜表聲波諧振器及其制造方法是由黃河;羅海龍;李偉設計研發完成,并于2020-11-16向國家知識產權局提交的專利申請。
本薄膜表聲波諧振器及其制造方法在說明書摘要公布了:本發明涉及一種薄膜表聲波諧振器及其制造方法,其中,薄膜表聲波諧振器包括:具有多個第一叉指的第一叉指電極、具有多個第二叉指的第二叉指電極,第一叉指與第二叉指間隔設置;第一連接線,至少位于第一叉指的其中一端,與第一叉指電連接;第二連接線,至少位于第二叉指的其中一端,與第二叉指電連接;第一連接線與第一叉指之間具有第一間隙,第一連接線與第一叉指通過跨越第一間隙的第一互連電極連接;和或,第二連接線與第二叉指之間具有第二間隙,第二連接線與第二叉指通過跨越第二間隙的第二互連電極連接。本發明將叉指與相應連接線通過相應間隙隔開,以降低叉指之外的金屬結構對叉指的振動阻礙,同時避免對叉指端部的表面聲波造成擾動。
本發明授權薄膜表聲波諧振器及其制造方法在權利要求書中公布了:1.一種薄膜表聲波諧振器,其特征在于,包括:具有多個第一叉指的第一叉指電極、具有多個第二叉指的第二叉指電極,所述第一叉指與所述第二叉指間隔設置;第一連接線,至少位于所述第一叉指的其中一端,與所述第一叉指電連接;第二連接線,至少位于所述第二叉指的其中一端,與所述第二叉指電連接;所述第一連接線與所述第一叉指之間具有第一間隙,所述第一連接線與所述第一叉指通過跨越第一間隙的第一互連電極連接;和或,所述第二連接線與所述第二叉指之間具有第二間隙,所述第二連接線與所述第二叉指通過跨越第二間隙的第二互連電極連接。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人中芯集成電路(寧波)有限公司上海分公司,其通訊地址為:201210 上海市浦東新區中國(上海)自由貿易試驗區蔡倫路85弄95號1幢3樓C區309;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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