恭喜中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所佘小娟獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所申請的專利一種90°光混頻器及制作方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN115166991B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202110359487.2,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G02B27/28;該發(fā)明授權(quán)一種90°光混頻器及制作方法是由佘小娟;廖涵;趙瑛璇;仇超;甘甫烷設(shè)計研發(fā)完成,并于2021-04-02向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種90°光混頻器及制作方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明提供一種90°光混頻器及制作方法,該90°光混頻器包括Si3N4MMI耦合器,該Si3N4MMI耦合器使用氮化硅作為波導的芯層材料,二氧化硅作為波導的包層材料,基于氮化硅材料制成的Si3N4MMI耦合器制作工藝簡單,與集成器件、CMOS工藝兼容。該Si3N4MMI耦合器的四個輸出波導輸出的光功率保持一致,且四個輸出波導輸出光束的相位誤差在?5°~5°范圍內(nèi),四個輸出波導的總透射率大于0.9時,對應的帶寬為68nm,覆蓋了波長范圍在1530nm?1565nm之間的C波段,具有較高的實用價值。
本發(fā)明授權(quán)一種90°光混頻器及制作方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種90°光混頻器,其特征在于,所述90°光混頻器包括Si3N4MMI耦合器,所述Si3N4MMI耦合器包括:硅襯底;二氧化硅下包層,形成于所述硅襯底上;氮化硅波導,形成于所述二氧化硅下包層上;二氧化硅上包層,覆蓋所述氮化硅波導及二氧化硅下包層;其中,所述氮化硅波導的折射率在1.9~2.1范圍內(nèi);其中,所述氮化硅波導包括依次連接的輸入波導、多模波導及輸出波導,所述輸入波導包括第一輸入波導、第二輸入波導、第三輸入波導及第四輸入波導,所述輸出波導包括第一輸出波導、第二輸出波導、第三輸出波導及第四輸出波導,通過所述第一輸入波導輸入TE偏振狀態(tài)的信號光,通過所述第二輸入波導輸入TE偏振狀態(tài)的本地偏振光,通過所述第三輸入波導輸入TM偏振狀態(tài)的信號光,通過所述第四輸入波導輸入TM偏振狀態(tài)的本地偏振光,且所述信號光及本地偏振光通過所述多模波導形成具有同功率、不同相位的光束,且所述光束通過所述輸出波導輸出的相對相位差分別為0°、90°、180°及270°;其中,利用光的自映像原理,設(shè)置所述多模波導的折射率、寬度和厚度參數(shù),以將所述信號光及本地偏振光進行混合并解調(diào)為同功率、不同相位的光束;所述多模波導為矩形波導;其中,在所述輸出波導的總透射率大于0.9時所對應的帶寬為68nm,覆蓋了1530nm~1565nm范圍;且在1530nm~1565nm波段范圍內(nèi),經(jīng)所述輸出波導輸出的所述光束的相位誤差的范圍為-5°~5°。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所,其通訊地址為:200050 上海市長寧區(qū)長寧路865號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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