恭喜恩特格里斯公司E·洪獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜恩特格里斯公司申請的專利氮化物蝕刻劑組合物和方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116096837B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180050131.9，技術領域涉及：C09K13/08；該發明授權氮化物蝕刻劑組合物和方法是由E·洪;洪性辰;金元來;梁正烈;蔡升賢;余珠姬設計研發完成，并于2021-08-13向國家知識產權局提交的專利申請。
本氮化物蝕刻劑組合物和方法在說明書摘要公布了：提供用于選擇性地蝕刻氮化鈦的組合物的方法，其通常使所存在的鉬以及可能存在于裝置上的任何氧化鋁、二氧化硅和多晶硅不受工藝影響。本發明組合物通常能夠實現超過分鐘的氮化鈦蝕刻速率，由此在圖案中提供均勻的凹部頂層和底層。
本發明授權氮化物蝕刻劑組合物和方法在權利要求書中公布了：1.一種組合物，其包含：a.水；b.0.001至5重量百分比的至少一種氧化劑；c.至少一種含氟化物的蝕刻劑；d.至少一種鉬腐蝕抑制劑，其中所述至少一種鉬腐蝕抑制劑包括4-3-苯丙基吡啶和5-甲基苯并三唑；e.至少一種pH調節劑；其中所述組合物的pH為-1至5。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人恩特格里斯公司，其通訊地址為：美國馬薩諸塞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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