買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網恭喜湖北工業大學申請的專利一種晶圓研磨用硅溶膠晶種生長控制方法、系統及介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN117654408B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202311436124.X，技術領域涉及：B01J19/18；該發明授權一種晶圓研磨用硅溶膠晶種生長控制方法、系統及介質是由夏軍勇;陽若林;周宏娣;肖偉;肖凱;楊健設計研發完成，并于2023-11-01向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶圓研磨用硅溶膠晶種生長控制方法、系統及介質在說明書摘要公布了：本發明涉及一種晶圓研磨用硅溶膠晶種生長控制方法、系統及介質，所述方法包括：U1.在反應釜中，打開硅酸計量泵按設定速度加入定量硅酸，同時打開穩定劑計量泵加入堿性穩定劑進行調節PH值，攪拌器按照一定速度進行攪拌，并加熱至一定溫度進行反應，保溫一定時間后得到硅溶膠晶種初始品；U2.采用激光粒度儀對所述硅溶膠晶種初始品的粒徑進行檢測，得到硅溶膠晶種初始品的粒徑數據信息，采用硅酸計量泵實時獲取硅酸加入速度的數據信息，采用穩定劑計量泵實時獲取穩定劑加入速度的數據信息，采用PH值傳感器實時獲取反應物的PH值數據信息。本發明不僅能夠對硅溶膠晶種的生長進行精確控制，而且能夠提高硅溶膠的生產效率。

本發明授權一種晶圓研磨用硅溶膠晶種生長控制方法、系統及介質在權利要求書中公布了：1.一種晶圓研磨用硅溶膠晶種生長控制方法，其特征在于，所述方法包括：U1.打開反應釜上的硅酸計量泵，向反應釜中加入硅酸，同時打開反應釜上的穩定劑計量泵，加入堿性穩定劑調節PH值，反應釜內攪拌器按照一定速度進行攪拌，并加熱至一定溫度進行反應，保溫一定時間后得到硅溶膠晶種初始品；U2.采用在線激光粒度分析儀對所述硅溶膠晶種初始品的粒徑進行檢測，得到硅溶膠晶種初始品的粒徑數據信息，采用硅酸計量泵實時獲取硅酸加入速度的數據信息，采用穩定劑計量泵實時獲取穩定劑加入速度的數據信息，采用PH值傳感器實時獲取反應物的PH值數據信息，通過檢測攪拌電機轉速實時獲取攪拌器的速度數據信息，反應釜內采用溫度傳感器實時獲取反應釜溫度數據信息；U3.將所述反應釜溫度數據信息、攪拌器的速度數據信息、反應物的PH值數據信息、穩定劑加入速度的數據信息、硅酸加入速度的數據信息和硅溶膠晶種初始品的粒徑數據信息輸入改進的霍普菲兒神經網絡模型進行訓練和學習，并得到最優解，輸出優化后的反應釜溫度數據信息、攪拌器的速度數據信息、反應物的PH值數據信息、穩定劑加入速度的數據信息和硅酸加入速度的數據信息；U4.將所述優化后的反應釜溫度數據信息、攪拌器的速度數據信息、反應物的PH數據信息、穩定劑加入速度的數據信息和硅酸加入速度的數據信息輸入ADRC算法對反應釜、硅酸計量泵、穩定劑計量泵和攪拌器進行調節控制，輸出反應釜溫度控制數據信息、硅酸計量泵控制數據信息、穩定劑計量泵控制數據信息和攪拌器控制數據信息給各控制機構，反應釜保溫一定時間后，制得晶圓研磨用硅溶膠晶種；在步驟U3中，所述將所述反應釜溫度數據信息、攪拌器的速度數據信息、所述反應物的PH值數據信息、所述穩定劑加入速度的數據信息、所述硅酸加入速度的數據信息和所述硅溶膠晶種初始品的粒徑數據信息輸入改進的霍普菲兒神經網絡模型進行訓練和學習的步驟包括：U31.基于所述反應釜溫度數據信息、攪拌器的速度數據信息、反應物的PH值數據信息、穩定劑加入速度的數據信息、硅酸加入速度的數據信息和硅溶膠晶種初始品的粒徑數據信息，建立關系映射J，Jx1,x2,x3,x4,x5=α0+α1f1x1+α2f2x2+α3f3x3+α4f4x4+α5f5x5,其中，x1為反應釜溫度數據信息，f1x1為反應釜溫度關系函數，x2為攪拌器的速度數據信息，f2x2為攪拌器的速度關系函數，x3為反應物的PH值數據信息，f3x3為反應物的PH值關系函數，x4為穩定劑加入速度的數據信息，f4x4為穩定劑加入速度關系函數，x5為硅酸加入速度的數據信息，f5x5為硅酸加入速度關系函數，J為硅溶膠晶種初始品的粒徑數據信息；U32.基于所述關系映射函數Jx1,x2,x3,x4,x5，建立反應釜溫度、攪拌器的速度、反應物的PH值、穩定劑加入速度和硅酸加入速度的關系矩陣G， ，其中，x1n為第n次采樣反應釜的溫度數據信息，x2n為第n次采樣攪拌器的速度數據信息，x3n為第n次采樣反應物的PH值數據信息，x4n為第n次采樣穩定劑加入速度的數據信息，x5n為第n次采樣硅酸加入速度的數據信息，Jn為第n次采樣的硅溶膠晶種初始品的粒徑數據信息；U33.基于所述反應釜溫度、攪拌器的速度、反應物的PH值、穩定劑加入速度和硅酸加入速度的關系矩陣G，建立改進的霍普菲兒神經網絡模型的權重函數F， ，其中，i=1,2,3,...n，j=1,2,3,...n，Gis和Gjs為第s序列的第i個、第j個元素，k為需要儲存的k個序列，G為關系矩陣，α和β為權重分析因子；U34.基于所述改進的霍普菲兒神經網絡模型的權重函數F，輸出優化后的反應釜溫度數據信息、攪拌器的速度數據信息、反應物的PH值數據信息、穩定劑加入速度的數據信息和硅酸加入速度的數據信息。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人湖北工業大學，其通訊地址為：430000 湖北省武漢市洪山區南李路28號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。