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龍圖騰網恭喜蘇州冠禮科技有限公司申請的專利一種全自動半導體清洗設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119581369B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411678490.0，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權一種全自動半導體清洗設備是由仲康;丁文標;趙晗;朱文臣;張輝設計研發完成，并于2024-11-22向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種全自動半導體清洗設備在說明書摘要公布了：本發明屬于半導體加工技術領域，且公開了一種全自動半導體清洗設備，包括工作臺，所述工作臺的內壁安裝有支撐框，所述工作臺內壁的左右兩側均轉動安裝有支撐輥，所述支撐輥的外表面活動套接有傳送帶，所述工作臺的正面安裝有電機，所述電機的輸出軸與支撐輥傳動連接，所述傳送帶的外表面開設有多組水平等距分布的適配槽，所述適配槽向下貫穿至支撐框的頂部。本裝置重新設計了清洗組件，使密封柱的頂端以及排液口二運動至晶圓的上方，并通過排液口一和排液口二的傾斜設計，將化學藥劑無死角的噴射至晶圓的表面，從而實現一次操作，全面清洗，從而省去了翻面和轉換工位的步驟，顯著提高了裝置的工作效率。

本發明授權一種全自動半導體清洗設備在權利要求書中公布了：1.一種全自動半導體清洗設備，包括工作臺1，所述工作臺1的內壁安裝有支撐框6，所述工作臺1內壁的左右兩側均轉動安裝有支撐輥2，所述支撐輥2的外表面活動套接有傳送帶3，所述工作臺1的正面安裝有電機5，所述電機5的輸出軸與支撐輥2傳動連接，其特征在于：所述傳送帶3的外表面開設有多組水平等距分布的適配槽4，所述適配槽4向下貫穿至支撐框6的頂部，所述支撐框6的內壁安裝有多組呈水平等距分布的清洗組件；所述清洗組件包括安裝于支撐框6內壁底部的伸縮桿13、二號泵17和儲液箱18，所述伸縮桿13的伸縮端固定連接有支撐板14，所述支撐板14的底部固定安裝有中轉槽15，所述中轉槽15與二號泵17之間連通安裝有連通管16，所述支撐板14的頂部圓周等距安裝有若干個支撐柱19，所述支撐柱19適配卡合于適配槽4中，所述支撐柱19的頂部沿支撐板14的徑線依次開設有一號腔22、支撐槽一28和支撐槽二29，所述支撐柱19內部靠近支撐板14軸線的一側開設有三號腔27，并在所述三號腔27和一號腔22之間連通開設有連通槽20，所述一號腔22的底部開設有二號腔23，所述支撐柱19的內側面開設有多組與三號腔27連通的排液口一21，所述一號腔22和二號腔23的內部密封套設有密封柱24，所述密封柱24的外表面開設有多組排液口二25，所述密封柱24的外表面活動套接有位于二號腔23內部的彈簧26，所述彈簧26的兩端分別與二號腔23和密封柱24彈性連接。

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