恭喜江西聯創光電超導應用有限公司鐘巧明獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜江西聯創光電超導應用有限公司申請的專利磁場測量裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119222474B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-09發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202411756543.6,技術領域涉及:F16M13/02;該發明授權磁場測量裝置是由鐘巧明;蔣國忠;馬韜;胡磊;余俊偉;郭水根;樊云云;李芳昕設計研發完成,并于2024-12-03向國家知識產權局提交的專利申請。
本磁場測量裝置在說明書摘要公布了:本申請涉及單晶硅生長爐技術領域,尤其涉及一種磁場測量裝置,磁場測量裝置,包括支撐部件、傳動機構和測量組件,支撐部件用于與待測磁體連接;傳動機構設置于支撐部件上;測量組件設置于支撐部件上,與傳動機構連接,測量組件在傳動機構的帶動下能夠沿預設路徑移動以測量待測磁體周圍的磁場。本申請的磁場測量裝置能夠準確地找到單晶硅生長爐磁場中的各個位置點,并分別測量預設位置各個位置點的磁場,為單晶硅生長工藝提供準確可靠的磁場參數,有利于提高測量機構的測量準確率和測量效率。
本發明授權磁場測量裝置在權利要求書中公布了:1.一種用于單晶硅生長爐的磁場測量裝置,其特征在于,所述單晶硅生產爐呈環筒狀,所述磁場測量裝置包括:支撐部件,所述支撐部件包括第一連桿和第二連桿,所述第一連桿具有第一端和第二端,所述第一連桿的第一端與所述單晶硅生長爐連接,所述第二連桿具有第三端和第四端,所述第二連桿的第三端與所述第一連桿的第二端轉動連接;當第二連桿轉動至第一連桿的下方,可用于測量單晶硅生長爐坩堝壁位置的磁場大小;當第二連桿轉動至第一連桿的上方,可用于測量單晶硅生長爐上方位置的磁場大小;傳動機構,設置于所述第一連桿、所述第二連桿上;測量組件,與所述傳動機構連接,所述測量組件在所述傳動機構的帶動下能夠沿預設路徑移動以測量所述單晶硅生長爐周圍的磁場;所述傳動機構包括:第一轉軸,設置于所述第一連桿的所述第一端,所述第一轉軸上套設有第一帶輪;第二轉軸,設置于所述第一連桿的所述第二端,所述第二轉軸上套設有第二帶輪和第三帶輪;第三轉軸,設置所述第二連桿的所述第四端,所述第三轉軸上套設有第四帶輪;第一同步帶,繞設于所述第一帶輪與所述第二帶輪上;第二同步帶,繞設于所述第三帶輪與所述第四帶輪上;所述第一同步帶上設置有刻度;所述支撐部件還包括:第一支座,設置于所述第一連桿靠近所述第二端的位置;第二支座,設置于所述第二連桿靠近所述第三端的位置,所述第二支座與所述第一支座通過銷軸轉動連接,所述銷軸與所述第二轉軸同軸設置;緊固件,分別與所述第一支座、所述第二支座可拆卸連接,用于對所述第二支座相對于所述第一支座的位置進行限位;固定座,所述固定座與所述第一連桿滑動配合,所述固定座與所述單晶硅生長爐可拆卸連接;固定座的下方開設有固定槽,固定槽的相對設置的兩個內側壁的其中一個為弧形面;固定座的兩側分別還設置有導向沿,第一連桿設置于兩側的導向沿之間,以防止第一連桿偏離單晶硅生長爐的徑向;鎖止件,分別與所述固定座、所述第一連桿可拆卸連接,用于對所述第一連桿相對于所述固定座的位置進行限位;在固定座、第一連桿上分別開設有多個孔位,通過將第一連桿移動到所需要的孔位,使固定座與第一連桿在對應的孔位處通過所述鎖止件實現連接,以使第二連桿處于單晶硅生長爐坩堝壁或單晶硅生長爐上方的不同位置。所述測量組件包括:隨動塊,設置于所述第二同步帶上;磁場探頭,設置于所述隨動塊上,用于測試所處位置的磁場強度;導向體,所述導向體與所述隨動塊連接,所述導向體具有導向槽,所述導向槽的內壁與所述第二連桿的表面滑動配合。在第二支座上設置指針,在第一支座上設置旋轉標尺,通過控制第二支座相對于第一支座的轉動角度,來輔助計算測量組件對應在第二連桿上的位置,進而獲知測量組件在單晶硅生長爐內的具體位置以及在單晶硅生長爐上方的具體位置。
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