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恭喜深圳市晟大光電有限公司王敏軍獲國家專利權

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龍圖騰網恭喜深圳市晟大光電有限公司申請的專利一種半導體檢測的多光源兼容調控方法及系統獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119562424B

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-09發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510122587.1,技術領域涉及:H05B47/20;該發明授權一種半導體檢測的多光源兼容調控方法及系統是由王敏軍;李國鑫設計研發完成,并于2025-01-26向國家知識產權局提交的專利申請。

一種半導體檢測的多光源兼容調控方法及系統在說明書摘要公布了:本發明涉及半導體檢測光源控制的技術領域,公開了一種半導體檢測的多光源兼容調控方法及系統,本發明獲取半導體檢測任務的需求特征和光源模塊的性能參數,根據任務需求和模塊性能解析光源配置方案,根據配置方案調度光源單元切換至工作模式進行半導體照射,持續采集工作光源單元的質量特征并與預設標準進行對比以進行光源切換方案分析與執行,實現光源單元的平穩過渡,平滑轉換光源單元至交接模式和轉讓模式,實現多光源兼容調控,通過漸進過渡避免光源切換的不穩定性,確保光源質量穩定,不同光源單元間實現無縫協作,增強系統的兼容性和可靠性,自動化調控提升了操作效率,解決了現有技術中單一光源持續提供高精度光照容易出現檢測誤差的問題。

本發明授權一種半導體檢測的多光源兼容調控方法及系統在權利要求書中公布了:1.一種半導體檢測的多光源兼容調控方法,其特征在于,包括:獲取半導體檢測任務的執行需求特征和預備執行半導體檢測任務的檢測光源模塊的模塊性能參數;其中,所述檢測光源模塊具有若干光源單元;根據所述模塊性能參數對所述執行需求特征進行任務解析處理,以得到所述檢測光源模塊對應所述半導體檢測任務的光源參數配置方案;根據所述光源參數配置方案對所述檢測光源模塊進行模塊參數配置,以調度所述檢測光源模塊中指定的光源單元切換至工作模式,以對所述半導體檢測任務所對應的待檢測半導體進行光源照射;對所述檢測光源模塊的工作參數進行持續地采集與分析,以得到所述檢測光源模塊中處于工作模式的所述光源單元的光源質量特征;根據預設標準對所述光源質量特征進行判斷,當判斷結果顯示所述光源質量特征達到預設標準時,根據所述光源參數配置方案與所述模塊性能參數對所述檢測光源模塊進行光照工作執行單元的漸進轉換方案分析,以得到所述檢測光源模塊的光源切換方案;根據所述光源切換方案對所述檢測光源模塊中指定的光源單元切換至交接模式,對處于工作模式的光源單元切換至轉讓模式,以使得處于轉讓模式的光源單元和處于交接模式的光源單元進行光照工作的漸進轉換,從而實現所述檢測光源模塊的多光源兼容調控。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人深圳市晟大光電有限公司,其通訊地址為:518000 廣東省深圳市寶安區石巖街道上屋社區愛群路同富裕工業區8-6#廠房一層、二層、三層、四層、五層;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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